[發明專利]用于硅單晶爐熱場拆清的高效清理裝置有效
| 申請號: | 202110284872.5 | 申請日: | 2021-03-17 |
| 公開(公告)號: | CN113020165B | 公開(公告)日: | 2022-04-29 |
| 發明(設計)人: | 劉永龍;杜學敏;常永強;張治國 | 申請(專利權)人: | 呼和浩特市洪潤環祥科技有限公司 |
| 主分類號: | B08B9/087 | 分類號: | B08B9/087;B08B15/04 |
| 代理公司: | 深圳市興科達知識產權代理有限公司 44260 | 代理人: | 覃曼萍 |
| 地址: | 010070 內蒙古自治區呼和浩*** | 國省代碼: | 內蒙古;15 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 硅單晶爐熱場拆清 高效 清理 裝置 | ||
1.一種用于硅單晶爐熱場拆清的高效清理裝置,其用于清理石墨加熱器,其特征在于,包括:
底座;
環形旋轉件,其設置于所述底座上,其上設置有用于固定石墨加熱器的固定部,其接受驅動以自轉;
內壁清理機構,其包括多個豎向布置的第一條狀清理構造,其固定于所述環形旋轉件的內側;
外壁清理機構,其包括多個豎向布置的第二條狀清理構造,其固定于所述環形旋轉件的外側;
吸塵機構,其抽吸口位于所述內壁清理機構和外壁清理機構之間;
還包括縫隙清理組件,縫隙清理組件包括絲杠、絲母和滾珠,底座上設置有驅動絲杠轉動的驅動單元,絲母通過滾珠與絲杠配合連接以實現沿絲杠做往復直線運動,即驅動單元驅動絲杠轉動時,絲母做上下往復運動,絲母通過連接件活動連接有環形板,即絲母為自轉加上往復運動的復合運動,而環形板僅為往復運動而不自轉,環形板上設置有多個縫隙清理件,多個縫隙清理件分別一一對應嵌入至石墨加熱器筒體的上狹縫或下狹縫中,如此在對石墨加熱器的縫隙進行清理時,將各縫隙清理件分別一一對應嵌入至石墨加熱器筒體的上狹縫或下狹縫中,通過驅動單元驅動絲杠轉動從而驅動絲母、環形板上下運動,從而使得各縫隙清理件對上狹縫或下狹縫進行清理;環形板上設置有避讓槽,內壁清理機構包括多個豎直布置的固定條,避讓槽的個數與固定條的個數相一致,各固定條分別位于避讓槽內;
縫隙清理件還包括條形板,各條形板上設置有打磨套,打磨套能夠沿條形板滑動,如此實現對縫隙清理件長度的調節,環形板沿其周向設置有周向滑槽,條形板滑動連接在周向滑槽內,各條形板沿周向滑槽滑動可對縫隙清理件的位置進行調節,從而使得各縫隙清理件與各上狹縫或下狹縫一一對應,各條形板轉動連接于所述環形板上,且轉軸上設置有扭簧,上狹縫和下狹縫的開口位置相反,在外壁和內壁清掃結束后,進行狹縫清理時,通過轉軸和扭簧使得條形板能夠轉動,如此所有的條形板都可以分別從頂部和底部卡入上狹縫和下狹縫。
2.根據權利要求1所述的高效清理裝置,其特征在于,所述底座上設置有筒體,所述筒體的內側形成容納腔,所述外壁清理機構位于所述容納腔內。
3.根據權利要求1所述的高效清理裝置,其特征在于,所述內壁清理機構上設置有第一條形槽,所述第一條狀清理構造通過第一彈簧嵌于所述第一條形槽中。
4.根據權利要求1所述的高效清理裝置,其特征在于,所述外壁清理機構上設置有第二條形槽,所述第二條狀清理構造通過第二彈簧嵌于所述第二條形槽中。
5.根據權利要求2所述的高效清理裝置,其特征在于,所述容納腔開口處設置有密封蓋板,還包括朝向所述第一條狀清理構造和第二條狀清理構造的吹風通道。
6.根據權利要求1所述的高效清理裝置,其特征在于,所述固定部為設置于所述環形旋轉件上的環形卡槽。
7.根據權利要求3所述的高效清理裝置,其特征在于,所述內壁清理機構包括多個豎直布置的固定條,多個所述固定條的頂部通過連接件相連,所述固定條上設置有所述第一條形槽。
8.根據權利要求1所述的高效清理裝置,其特征在于,還包括驅動機構,所述驅動機構包括轉盤,所述環形旋轉件同軸布置于所述轉盤上以實現自轉。
9.根據權利要求8所述的高效清理裝置,其特征在于,所述環形旋轉件連接于所述轉盤的邊緣部分,所述轉盤活動套接于所述吸塵機構的排氣管道上。
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