[發明專利]一種石墨烯的制備方法有效
| 申請號： | 202110283533.5 | 申請日： | 2021-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN112938946B | 公開（公告）日： | 2023-02-03 |
| 發明（設計）人： | 劉科海;樂湘斌;張志強;何夢林;黃智;王恩哥 | 申請（專利權）人： | 松山湖材料實驗室;中科晶益（東莞）材料科技有限責任公司 |
| 主分類號： | C01B32/186 | 分類號： | C01B32/186;C01B32/196 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 523000 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石墨 制備 方法 | ||
1.一種石墨烯的制備方法，其特征在于，包括：
沉積步驟：通過化學氣相沉積在襯底上沉積石墨烯；以及
刻蝕步驟：采用水蒸氣對所述石墨烯表面的無定形碳進行刻蝕，
所述水蒸氣的溫度為750~950℃；
所述刻蝕步驟的時間為0.5~1.5h；
所述刻蝕步驟在保護氣體氛圍下進行，所述保護氣體包括氫氣和惰性氣體；
在所述沉積步驟和所述刻蝕步驟之間還包括氣氛預處理步驟：先對所述刻蝕步驟的工作環境進行抽真空處理，然后向所述刻蝕步驟的工作環境中通入所述保護氣體；
其中，在所述沉積步驟結束后，待所述沉積步驟的工作環境的溫度冷卻至低于100℃，再依次進行所述氣氛預處理步驟和所述刻蝕步驟。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述惰性氣體為氬氣。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述刻蝕步驟中，所述保護氣體氛圍的氣壓為0.9~1.1atm。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，在向所述刻蝕步驟的工作環境中通入所述保護氣體后，再將沉積有所述石墨烯的所述襯底置入所述刻蝕步驟的工作環境中。
5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述氣氛預處理步驟中，所述氫氣的通入流量為8~12sccm，所述惰性氣體的通入流量為8~12sccm。
6.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述沉積步驟在化學氣相沉積裝置的生長腔中進行，所述刻蝕步驟在所述化學氣相沉積裝置的出樣腔中進行。
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