[發明專利]金剛線切割大尺寸硅片用切割液及其制備工藝

在審

• 申請號: 202110283385.7
• 申請日: 2021-03-16
• 公開（公告）號: CN112961726A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 付明全;呂炳國
• 申請（專利權）人: 廣東高景太陽能科技有限公司
• 主分類號: C10M173/00
• 分類號: C10M173/00;C10N30/06;C10N40/22;C10N30/02;C10N30/04
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 盧澤明

1.金剛線切割大尺寸硅片用切割液，其特征在于，以質量分數計，包括以下組分：

2.根據權利要求1所述的金剛線切割大尺寸硅片用切割液，其特征在于：水為去離子水，所述潤滑劑為聚乙二醇、磷酸三乙酯、油酸、油酸化物中的至少一種。

3.根據權利要求1所述的金剛線切割大尺寸硅片用切割液，其特征在于：所述極壓劑為硼砂、硅酸鈉中的至少一種。

4.根據權利要求1所述的金剛線切割大尺寸硅片用切割液，其特征在于：所述防銹劑為三乙醇胺硼酸酯。

5.根據權利要求1所述的金剛線切割大尺寸硅片用切割液，其特征在于：所述消泡劑為聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚、二甲基硅油、丙二醇嵌段聚醚中的至少一種。

6.根據權利要求1所述的金剛線切割大尺寸硅片用切割液，其特征在于：所述潤濕劑為脂肪醇聚氧乙烯醚、月桂醇醚磷酸酯、十二烷基苯磺酸鈉中的至少一種。

7.根據權利要求1所述的金剛線切割大尺寸硅片用切割液，其特征在于：所述防腐劑為十二烯基丁二酸二乙醇酰胺、苯甲酸鈉中的至少一種，優選為苯甲酸鈉；所述絡合劑為氨三乙酸。

8.金剛線切割大尺寸硅片用切割液的制備工藝，其特征在于，按照以下步驟進行：

S1、向配置容器中加入預定比例的水，然后不斷攪拌；

S2、邊攪拌邊向步驟S1中的水中依次先后加入潤滑劑、極壓劑、防銹劑、防腐劑、潤濕劑、消泡劑、絡合劑，然后繼續攪拌至加入的各物質均勻分散于水中；

S3、將完成步驟S2的混合液進行過濾，制得所述的金剛線切割大尺寸硅片用切割液。