[發(fā)明專利]磨拋結(jié)構(gòu)、其組裝方法及其磨具或工件的拆卸方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110279868.X
• 申請(qǐng)日: 2021-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN113043165A
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萬明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州賽萬玉山智能科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B45/00
• 分類號(hào): B24B45/00;B24B55/02
• 代理公司: 南京艾普利德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32297
• 代理人: 陸明耀;顧祥安

本發(fā)明揭示了磨拋結(jié)構(gòu)、其組裝方法及工件或磨具拆卸方法，其中磨拋結(jié)構(gòu)包括載體，其上形成有進(jìn)、出口位于其后端面且從其后端面延伸至前端的冷卻流道，載體至少前端區(qū)域?yàn)榉歉魺岵牧希涣黧w滑環(huán)，連接在載體的后端；冷媒供應(yīng)機(jī)構(gòu)，連接流體滑環(huán)，用于通過流體滑環(huán)向冷卻流道內(nèi)供應(yīng)冷媒；磨具或工件，通過冰凍連接層連接在載體的前端。本方案可以通過冷媒使載體前端形成低溫使載體與工具或磨具間的冰凍凝固液凝固形成冰凍連接層并使冰凍連接層保持冰凍狀態(tài)，從而將磨具或工件固定在載體上以進(jìn)行加工，改變了傳統(tǒng)的固定方式，固定精度高、穩(wěn)定性好、拆裝便利；同時(shí)，冷媒還可以持續(xù)對(duì)載體、磨具或工件進(jìn)行冷卻，避免熱應(yīng)力的影響。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及高精度加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其是磨拋結(jié)構(gòu)、其組裝方法及工件或磨具拆卸方法。

背景技術(shù)

研磨機(jī)是指用涂上或嵌入磨料的磨具對(duì)工件表面進(jìn)行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、螺紋面和其他型面。

傳統(tǒng)的研磨機(jī)中，主軸通常是采用機(jī)械硬連接（如螺栓連接）、三爪卡盤、真空吸盤或是刀柄等方式來夾持工件或刀具（磨具）。螺栓連接的安裝精度低，且安裝位置限定，同時(shí)磨具或工件上必須有相匹配的孔才能通過螺栓進(jìn)行連接，應(yīng)用靈活性不佳。三抓卡盤則往往很難用于盤狀磨具或工件的固定，并且三爪卡盤使用久了,隨著卡盤的磨損三爪會(huì)出現(xiàn)喇叭口狀,三爪也會(huì)慢慢偏離車床主軸中心。使所加工零件的形位公差增大。真空吸附的穩(wěn)定性往往較差，受工件或磨具表面平整度影響大，并且真空吸附結(jié)構(gòu)無法用于冷卻。而刀柄往往僅能用于刀具的固定，難以用于工件的固定。

并且無論采用上述何種方式來安裝工件或磨具，都需要額外的措施來對(duì)工件或磨具進(jìn)行冷卻。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，提供一種磨拋結(jié)構(gòu)、其組裝方法及工件或磨具拆卸方法。

本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

磨拋結(jié)構(gòu)，包括

載體，其上形成有冷卻流道，所述冷卻流道的進(jìn)、出口位于載體的后端面且所述冷卻流道從所述載體的后端面延伸至前端區(qū)域，所述載體至少前端區(qū)域?yàn)榉歉魺岵牧希?/p>

流體滑環(huán)，連接在所述載體的后端且其上的通道與所述冷卻流道的進(jìn)、出口連通；

冷媒供應(yīng)機(jī)構(gòu)，連接所述流體滑環(huán)，用于通過所述流體滑環(huán)向所述冷卻流道內(nèi)供應(yīng)可使冰凍凝固液凝固為冰凍連接層的冷媒；

磨具或工件，通過冰凍連接層連接在所述載體的前端。

優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述載體連接驅(qū)動(dòng)其自轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)所述載體自轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)為電主軸或所述載體與驅(qū)動(dòng)其自轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)構(gòu)成電主軸。

優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述冰凍連接層的厚度為微米級(jí)或亞微米級(jí)。

優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述冰凍連接層為凝固點(diǎn)在25℃～-50℃的冰凍凝固液冰凍而成。

優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述載體的前端通過導(dǎo)熱膠層或冰凍連接層連接半導(dǎo)體制冷片，所述半導(dǎo)體制冷片的冷端通過冰凍連接層連接所述磨具或工件。

優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述磨具包括非隔熱材料的治具，所述治具上形成有孔和/或槽，所述孔和/或槽內(nèi)設(shè)置有冰凍磨材。

優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述冰凍磨材包括多個(gè)凝固體分層。

優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述冰凍磨材的磨料的粒度范圍在20納米～100 微米之間。

優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述冰凍磨材中包括酸或堿。

磨拋結(jié)構(gòu)的組裝方法，包括如下步驟