[發明專利]壓電元件及其制造方法

在審

• 申請號: 202110279425.0
• 申請日: 2021-03-16
• 公開（公告）號: CN113451496A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 伊藤亮;后藤隆幸
• 申請（專利權）人: 太陽誘電株式會社
• 主分類號: H01L41/047
• 分類號: H01L41/047;H01L41/083;H01L41/187;H01L41/273;H01L41/277;H01L41/29;C04B35/495;C04B35/622
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;王磊

1.一種層疊型壓電元件，其特征在于，具有：

壓電陶瓷層，其由以具有鈣鈦礦型結構的堿金屬鈮酸鹽為主成分且還含有錳酸鋰的壓電陶瓷構成，和

內部電極，其由銀的含量為80質量％以上的金屬形成，且存在于所述壓電陶瓷層之間。

2.如權利要求1所述的層疊型壓電元件，其特征在于：

所述壓電陶瓷層中所含的不構成所述主成分的Li和Mn的含量在將該主成分設為100摩爾％時，以元素換算，分別為0.6摩爾％以下的Li、和0.1摩爾％以上2.0摩爾％以下的Mn。

3.如權利要求1或2所述的層疊型壓電元件，其特征在于：

所述壓電陶瓷層在將基于使用CuKα射線的X射線衍射測定并通過以下的計算方法得到的錳酸鋰的衍射強度設為I時，滿足4.5≤I≤12，

計算方法：

1)將2θ＝10～40°時的峰強度的最大值設為I_0,max、最小值設為I_0,min，算出將各測定點的峰強度I_0,2θ的值由下述計算式標準化得到的I_2θ；

I_2θ＝(I_0,2θ－I_0,min)/(I_0,max－I_0,min)×1000

2)將2θ＝18～19°時的所述I_2θ的最大值I_2θ,max與最小值I_2θ,min之差(I_2θ,max－I_2θ,min)作為錳酸鋰的衍射強度I。

4.如權利要求1～3中任一項所述的層疊型壓電元件，其特征在于：

所述壓電陶瓷層還含有選自鈣、鍶和鋇中的至少1種堿土金屬元素、以及銀。

5.如權利要求4所述的層疊型壓電元件，其特征在于：

在將所述堿金屬鈮酸鹽的B位點中的元素的含量設為100摩爾％時，所述堿土金屬元素的合計含量超過0.2摩爾％且為5摩爾％以下。

6.如權利要求4或5所述的層疊型壓電元件，其特征在于：

所述堿金屬鈮酸鹽由以下的組成式(1)表示，

(Ag_uM2_v(K_1-w-xNa_wLi_x)_1-u-v)_a(Sb_yTa_zNb_1-y-z)O₃…(1)

組成式(1)中，M2表示所述堿土金屬，并且，u、v、w、x、y、z、a是滿足0.005＜u≤0.05、0.002＜v≤0.05、0.007＜u+v≤0.1、0≤w≤1、0.02＜x≤0.1、0.02＜w+x≤1、0≤y≤0.1、0≤z≤0.4、1＜a≤1.1所示的各不等式的數值。

7.如權利要求1～6中任一項所述的層疊型壓電元件，其特征在于：

所述壓電陶瓷層還含有Si，在將所述堿金屬鈮酸鹽設為100摩爾％時，Si的含量為0.1摩爾％以上3.0摩爾％以下。

8.如權利要求1～7中任一項所述的層疊型壓電元件，其特征在于：

還具有覆蓋所述內部電極和/或所述壓電陶瓷層的保護部，該保護部含有錳酸鋰。