[發明專利]一種物體表面平整度檢測方法及其檢測設備

在審

• 申請號: 202110277617.8
• 申請日: 2021-03-15
• 公開（公告）號: CN113155060A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 王振興
• 申請（專利權）人: 深圳市度彼電子有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 深圳市凱達知識產權事務所 44256
• 代理人: 劉大彎

1.一種物體表面平整度檢測方法，包括如下步驟：

設置一可拆卸固定單元將激光發射平臺固定在所述被測物體表面上，所述可拆卸固定單元(15)包括電池(13)、真空泵(10)、連接軟管(12)和海棉體(11)；其中，所述海綿體固定粘貼于所述固定單元的工作面上；當所述工作面貼緊所述被測物體表面(20)時，所述工作面與所述被檢測物體表面(20)以及所述海綿體形成一封閉的腔體；所述真空泵通過所述連接軟管將所述封閉的腔體抽真空，形成負壓吸附腔；

在所述激光發射平臺(21)上設置至少一組能發射出線狀激光的激光線模組(1)；通過所述激光線模組(1)向所述被測物體表面發射激光線，使得所述激光線與該被測物體表面間有一個非90°的夾角，則被測物體表面上出現一塊被所述激光線照射并照亮的區域；

如果被測物體表面為平整，則所述激光線照射并照亮的區域的形狀為直線；

如果被測物體表面為不平整，則所述激光線照射并照亮的區域的形狀為具有凹陷和凸出的曲線；

改變所述激光線模組(1)的發射方向或位置，使得所述激光線掃過整個被測物體表面，根據激光線照射并照亮的區域的形狀，判斷整個被測物體表面的平整度。

2.根據權利要求1所述的物體表面平整度檢測方法，其特征在于，包括如下步驟：

設置一旋轉平臺使得所述激光發射平臺能夠旋轉，以使得所述激光線模組發射的激光線能夠照射到更大面積的被檢測物體表面，并根據激光線照射并照亮的區域的形狀，判斷更大面積的被測物體表面的平整度。

3.根據權利要求1或2所述的物體表面平整度檢測方法，包括如下步驟：在所述激光發射平臺(21)上設置角度調節單元，通過所述角度調節單元調整改變所述激光線模組(1)的發射方向；在所述激光發射平臺和所述旋轉平臺(16)之間設置水平調節單元，通過所述水平調節單元調整改變所述激光線模組的位置。

4.根據權利要求1或2所述的物體表面平整度檢測方法，包括如下步驟：在所述激光發射平臺(21)上設置水平觀測單元，所述水平觀測單元與所述激光線模組相連接，用于觀測所述激光線是否水平。

5.根據權利要求1或2所述的一種物體表面平整度檢測設備，其特征在于，包括激光發射平臺(21)、和可拆卸固定單元(15)；所述可拆卸固定單元(15)用于將所述激光發射平臺固定在被檢測物體表面(20)；所述激光發射平臺上安裝有至少一組激光線模組(1),所述激光線模組用于向被檢測物體表面(20)發射激光線；

所述可拆卸固定單元(15)包括電池(13)、真空泵(10)、連接軟管(12)和海棉體(11)；所述海綿體固定粘貼于所述可拆卸固定單元的工作面上；當所述工作面貼緊所述待檢測物體表面(20)時，所述工作面與所述待檢測物體表面(20)以及所述海綿體形成一封閉的腔體；所述真空泵通過所述連接軟管將所述封閉的腔體抽真空，形成負壓吸附腔。

6.根據權利要求5所述的一種物體表面平整度檢測設備，其特征在于，在所述激光發射平臺和可拆卸固定單元之間設置旋轉平臺(16)，所述旋轉平臺用于使得所述激光發射平臺在所述可拆卸固定單元之上旋轉。

7.根據權利要求5或6所述的物體表面平整度檢測設備，其特征在于，所述激光發射平臺(21)上設有角度調節單元，通過所述角度調節單元調整改變所述激光線模組(1)的發射方向；在所述激光發射平臺和所述旋轉平臺(16)之間設有水平調節單元，通過所述水平調節單元調整改變所述激光線模組的位置。

8.根據權利要求6或7所述的物體表面平整度檢測設備，其特征在于，在所述激光發射平臺(21)上設有水平觀測單元，所述水平觀測單元與所述激光線模組相連接，用于觀測所述激光線是否水平。

9.根據權利要求7所述的物體表面平整度檢測設備，其特征在于，其特征在于，所述水平調節單元包括第一水平調節輪(5)、第二水平調節輪(6)和第三水平調節輪(7)。

10.根據權利要求8所述的物體表面平整度檢測設備，其特征在于，所述水平觀測單元包括彼此垂直的X軸水平觀測模塊(8)和Y軸水平觀測模塊(9)，所述X軸水平觀測模塊(8)和Y軸水平觀測模塊為液體水平氣泡或角度傳感器。