[發明專利]彈性波器件和濾波器

在審

• 申請號: 202110276305.5
• 申請日: 2021-03-15
• 公開（公告）號: CN113411070A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 石田守;松田隆志
• 申請（專利權）人: 太陽誘電株式會社
• 主分類號: H03H9/64
• 分類號: H03H9/64;H03H9/145
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 馬建軍;鄧毅

彈性波器件和濾波器，能夠調整機電耦合系數。彈性波器件具有：壓電層(14)；一對電極，其夾著壓電層(14)，在壓電層(14)激勵出厚度剪切振動；以及附加膜(26a、26b)，其具有比一對電極中的至少一方的密度小的密度，設置于所述一對電極夾著壓電層(14)的至少一部分而重疊的諧振區域(50)中的如下部位中的至少一個部位：所述一對電極的至少一個電極與壓電層(14)之間、一對電極的至少一個電極內、以及一對電極的至少一個電極的與壓電層(14)相反一側。

技術領域

本發明涉及彈性波器件和濾波器，例如涉及具有諧振器的彈性波器件和濾波器。

背景技術

作為移動電話等無線終端的高頻電路用的濾波器和雙工器，使用FBAR(Film BulkAcoustic Resonator：薄膜體聲波諧振器)和SMR(Solid Mounted Resonator：固態裝配型諧振器)等BAW(Bulk Acoustic Wave：體聲波)諧振器。BAW諧振器被稱作壓電薄膜諧振器。壓電薄膜諧振器具有夾著壓電膜設置一對電極的構造，一對電極夾著壓電膜的至少一部分而對置的諧振區域是彈性波進行諧振的區域。

在壓電薄膜諧振器中，彈性波在諧振區域的周邊部反射，當在諧振區域內形成駐波時，成為不必要的雜散。因此，公知在諧振區域內的邊緣區域追加附加膜來控制聲速，從而抑制雜散(例如專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開2008-42871號公報

當壓電膜使用鉭酸鋰、鈮酸鋰或水晶等單晶壓電體時，諧振區域內的振動成為厚度剪切振動。利用厚度剪切振動的彈性波器件具有較大的機電耦合系數。但是，當濾波器等使用諧振器時，要求調整機電耦合系數而不使諧振特性大幅劣化。

發明內容

本發明正是鑒于上述課題而完成的，其目的在于，能夠調整機電耦合系數。

本發明是一種彈性波器件，該彈性波器件具有：壓電層；一對電極，其夾著所述壓電層，在所述壓電層激勵出厚度剪切振動；以及附加膜，其具有比所述一對電極中的至少一方的密度小的密度，設置于所述一對電極夾著所述壓電層的至少一部分而重疊的諧振區域中的如下部位中的至少一個部位：所述一對電極的至少一個電極與所述壓電層之間、所述一對電極的至少一個電極內、以及所述一對電極的至少一個電極的與所述壓電層相反一側。

在上述結構中，能夠構成為，所述附加膜是具有比所述壓電層的相對介電常數低的相對介電常數的絕緣膜。

在上述結構中，能夠構成為，所述一對電極以選自釕、鉻、銅、鉬、鎢、鉭、鉑、銠和銥的金屬為主要材料，所述附加膜以密度為鋁以下的金屬為主要材料。

在上述結構中，能夠構成為，所述壓電層是旋轉Y切鈮酸鋰基板。

在上述結構中，能夠構成為，所述壓電層是X切鉭酸鋰基板。

在上述結構中，能夠構成為，所述彈性波器件具有第2附加膜，在俯視觀察所述一對電極中的一方時，該第2附加膜未設置于包含所述諧振區域的重心的區域即中央區域，該第2附加膜的至少一部分設置于邊緣區域，該邊緣區域是所述諧振區域中的夾著所述中央區域且所述中央區域以外的區域。

在上述結構中，能夠構成為，所述附加膜由1個或多個膜形成，所述附加膜的合計厚度大于0且為所述壓電層的厚度的0.18倍以下。

本發明是一種濾波器，該濾波器具有：第1諧振器，其在所述彈性波器件的諧振區域中還包含密度比所述附加膜高的頻率調整膜；以及第2諧振器，其與所述第1諧振器共用相同的壓電層，具有夾著所述壓電層且在所述壓電層激勵出厚度剪切振動的一對電極，在俯視觀察時所述一對電極夾著所述壓電層的至少一部分而重疊的諧振區域中的所述一對電極的至少一個電極與所述壓電層之間、所述一對電極的至少一個電極內、以及所述一對電極的至少一個電極的與所述壓電層相反一側，均未設置附加膜和頻率調整膜。