[發(fā)明專利]一種夾持環(huán)及其內(nèi)部螺孔的加工方法和用途

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110276203.3
• 申請日: 2021-03-15
• 公開（公告）號: CN113061864B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;陳春磊
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;B25B11/00;B23P15/00
• 代理公司: 北京遠智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種夾持環(huán)，其特征在于，所述夾持環(huán)包括環(huán)形底盤和環(huán)繞環(huán)形底盤外圍的外圓周體；

所述環(huán)形底盤中部設(shè)置有內(nèi)圓周體；

所述內(nèi)圓周體設(shè)置有均勻分布的固定面；

所述固定面上設(shè)置有呈三角形設(shè)置的螺孔；所述螺孔的數(shù)量為3個；

所述三角形為等腰三角形；

所述等腰三角形的長邊靠近環(huán)形底盤；

所述螺孔內(nèi)設(shè)置有螺紋；

所述夾持環(huán)的內(nèi)部螺孔由以下加工方法制備得到：

(1)采用計算機數(shù)字控制機床加工中心粗銑夾持環(huán)，得到均勻分布的固定面；

(2)采用D4點孔鉆作為第一刀具對夾持環(huán)的固定面進行第一加工，其中主軸轉(zhuǎn)速為1100～1300r/min，進給量為15～25mm/min，加工深度為1～2mm，得到錐度孔；

(3)采用D2.6長鉆頭作為第二刀具對夾持環(huán)的固定面進行第二加工，其中主軸轉(zhuǎn)速為1100～1300r/min，進給量為15～25mm/min，每次加工深度為0.5～1mm，多次加工直至形成貫通孔，得到底孔；

(4)采用M3螺紋銑刀作為第三道具對夾持環(huán)的固定面進行第三加工，其中主軸轉(zhuǎn)速為1100～1300r/min，進給量為90～110mm/min，加工深度為5～6mm，得到M3螺紋，制備出夾持環(huán)內(nèi)部螺孔；

所述夾持環(huán)用于半導體物理氣相沉積領(lǐng)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持環(huán)，其特征在于，所述固定面的數(shù)量為至少3個。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持環(huán)，其特征在于，所述螺孔為貫通螺孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持環(huán)，其特征在于，所述螺紋的規(guī)格包括M3。