[發明專利]平面彎曲發聲型揚聲器、MEMS微揚聲器和制作方法

在審

• 申請號: 202110274671.7
• 申請日: 2021-03-15
• 公開（公告）號: CN112995863A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 吳宗漢;張紹年;陳為波
• 申請（專利權）人: 東莞市瑞勤電子有限公司
• 主分類號: H04R17/00
• 分類號: H04R17/00;H04R31/00
• 代理公司: 深圳市深軟翰琪知識產權代理有限公司 44380
• 代理人: 孫勇娟

本發明公開了一種平面彎曲發聲型揚聲器、MEMS微揚聲器和制作方法。該平面彎曲發聲型揚聲器包括振動體，振動體包括上下兩電極和兩電極之間的壓電體組合，電極包括柔性振動片和形成在柔性振動片表面的兩個梳狀電極，梳狀電極具有相互平行的多個梳齒，壓電體組合包括若干個平行布置的壓電體；各個壓電體的上、下表面分別與上、下兩電極表面的梳狀電極的各個梳齒電連接；當通過各個梳狀電極施加音頻驅動電壓時，任意兩個相鄰的壓電體的極性相異，各個壓電體產生形變且相鄰的壓電體形變方向相反，從而驅動振動體振動發聲。該揚聲器具有功耗小、無前室效應、頻響寬等優點，具有可撓、能彎曲、能卷成軸狀收攏的優點，且適用于超微型揚聲器。

技術領域

本發明涉及揚聲器技術領域，具體涉及一種平面彎曲發聲型揚聲器、MEMS 微揚聲器和制作方法。

背景技術

常用的揚聲器多為動圈式的電動揚聲器，它是由在磁場中的載流線圈受安培力而帶動振動盆振動而發聲的，但對于有些揚聲器卻不能符合要求，例如：對于包括MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微機電系統)微揚聲器在內的超微型揚聲器而言，在體積很小的空間中安放磁體是困難的，因而對于超微揚聲器這是不適用的，常用的改善辦法中有用靜電式驅動的、駐極體驅動的，還有用壓電體驅動的、鐵電體驅動的等多種方式，但尚未見在諸多方面都占優勢的產品。并且：常用的動圈式的電動揚聲器是不可撓的，不能彎曲、轉成軸狀，即不可做成可展開亦可卷成軸狀收攏的形式。

發明內容

本發明的目的在于：提供一種壓電驅動的平面彎曲發聲型揚聲器及其制作方法，以及，一種MEMS微揚聲器及其制作方法。

本發明第一方面，提供一種平面彎曲發聲型揚聲器，包括振動體；所述振動體包括上下兩電極和設于兩電極之間的壓電體組合，所述電極包括柔性振動片和形成在柔性振動片表面的兩個相對的梳狀電極，每個所述梳狀電極具有相互平行的多個梳齒，所述壓電體組合包括若干個平行布置的壓電體；其中，各個壓電體的上、下表面分別與上、下兩電極表面的梳狀電極的各個梳齒電連接；當通過各個梳狀電極施加音頻驅動電壓時，任意兩個相鄰的壓電體的極性相異，各個壓電體產生形變且相鄰的壓電體形變方向相反，從而驅動振動體振動發聲。

其中，兩電極分為上電極和下電極，所述上電極包括第一柔性振動片，所述第一柔性振動片的下表面設有分別位于左右兩側且相對的左上梳狀電極和右上梳狀電極，所述下電極包括第二柔性振動片，所述第二柔性振動片的上表面設有分別位于左右兩側且相對的左下梳狀電極和右下梳狀電極；所述壓電體組合包括若干個第一壓電體和若干個第二壓電體，第一壓電體和第二壓電體一一間隔排列；其中，所述第一壓電體的上、下表面分別與所述左上梳狀電極和所述右下梳狀電極電連接，所述第二壓電體的上、下表面分別與所述右上梳狀電極和所述左下梳狀電極電連接；所述左上梳狀電極和所述左下梳狀電極電連接于第一輸入端，所述右上梳狀電極和所述右下梳狀電極電連接于第二輸入端；當第一輸入端和第二輸入端被施加音頻驅動電壓時，所述第一壓電體和所述第二壓電體產生方向相反的形變。

其中，所述振動體能夠沿長度方向卷曲，各個梳狀電極的梳齒以及各個壓電體沿所述振動體的長度方向排布、且垂直于所述振動體的長度方向；進一步的，各個梳狀電極的梳齒等長，或者，各個梳狀電極的梳齒的長度沿所述振動體的長度方向逐漸減小或逐漸增大。

進一步的，所述柔性振動片采用薄片或薄膜材料，所述梳狀電極是將電極材料以真空蒸發或濺射方式形成在所述柔性振動片表面，所述壓電體采用非柔性的薄片狀壓電材料或者柔性的薄膜狀壓電材料，所述壓電體與所述柔性振動片上的梳狀電極通過導電膠粘結固定。