[發(fā)明專利]一種照明光路、缺陷檢測裝置及光強測量方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110274241.5
• 申請日: 2021-03-15
• 公開（公告）號: CN113008798A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張雨茜;敖海林
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/95
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 周耀君

1.一種照明光路，應(yīng)用于缺陷檢測裝置中，其特征在于，所述照明光路包括光源和斜射光路，所述斜射光路的末端設(shè)有用于測量光強的光強測量裝置，所述光強測量裝置包括探頭和探頭支架；

所述探頭安裝于所述探頭支架上，所述探頭支架位于所述斜射光路的末端；

所述探頭支架與一驅(qū)動件相連，所述驅(qū)動件用于控制所述探頭支架的轉(zhuǎn)向；

當所述缺陷檢測裝置處于工作狀態(tài)時，在所述驅(qū)動件的作用下，所述探頭偏離所述照明光路；

當需要測量所述斜射光路的末端的光強時，在所述驅(qū)動件的作用下，所述光源發(fā)射的光線能夠經(jīng)所述斜射光路達到所述探頭。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明光路，其特征在于，所述驅(qū)動件與一電磁閥相連，所述電磁閥用于控制所述驅(qū)動件的工作狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明光路，其特征在于，所述光源為激光發(fā)射器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明光路，其特征在于，所述探頭支架上設(shè)有用于安裝所述測量鏡頭的第一卡槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的照明光路，其特征在于，所述探頭支架靠近所述第一卡槽的邊緣均設(shè)有第二卡槽，所述第二卡槽的開口朝向所述第一卡槽，所述第二卡槽用于供所述探頭的邊緣卡入。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的照明光路，其特征在于，所述光強測量裝置還包括與所述探頭支架可拆卸式相連的卡塊，所述卡塊設(shè)于所述第一卡槽的開口所在位置處。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明光路，其特征在于，所述光強測量裝置還包括與所述探頭通信連接的測量機身，所述測量機身上設(shè)有顯示屏。

8.一種缺陷檢測裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至7中任一項所述的照明光路。

9.一種如權(quán)利要求1至7中任一項所述的照明光路的光強測量方法，其特征在于，所述光強測量方法包括：

接收測量光強的指令；

控制所述驅(qū)動件帶動所述探頭支架轉(zhuǎn)動，以使得所述探頭位于所述照明光路上；

所述探頭接收通過所述斜射光路的光線，以測量所述斜射光路的末端的光強。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的照明光路的光強測量方法，其特征在于，所述光強測量方法還包括：

將測得的所述斜射光路的末端的光強進行顯示。