[發(fā)明專利]一種用于光刻機的低應力窄帶紫外鏡頭

在審

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• 申請日: 2021-03-15
• 公開（公告）號: CN112987513A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發(fā)明（設計）人: 羅鳳旺;呂復坡
• 申請（專利權(quán)）人: 云南富端科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/02;G02B7/04
• 代理公司: 昆明祥和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 53114
• 代理人: 張亦凡

1.一種用于光刻機的低應力窄帶紫外鏡頭，其特征在于包括前鏡組、中間鏡組、光欄組、偏心調(diào)整機構(gòu)組和后鏡組，其中：前鏡組由前鏡組鏡框和第一透鏡組成，所述前鏡組鏡框頭部內(nèi)設置第一透鏡，中間鏡組由中間鏡組鏡框、第二透鏡、第三透鏡和第四透鏡組成，所述中間鏡組鏡框內(nèi)依次向后設置第二透鏡、第三透鏡和第四透鏡，中間鏡組鏡框外表面采用偏心圓柱面；光欄組由光欄組鏡框、光欄和光欄壓圈組成，所述光欄頭部由光欄壓圈固定在光欄組鏡框內(nèi)；偏心調(diào)整機構(gòu)組由內(nèi)偏心鏡框、外偏心鏡框、第五透鏡、第六透鏡和第七透鏡組成，所述內(nèi)偏心鏡框和外偏心鏡框旋轉(zhuǎn)連接，外偏心鏡框內(nèi)表面設置為偏心圓柱面；內(nèi)偏心鏡框內(nèi)依次向后設置第五透鏡、第六透鏡和第七透鏡；后鏡組由后鏡組鏡框、第八透鏡和后鏡組壓圈組成，所述前鏡組鏡框與后經(jīng)組鏡框通過螺栓連接，后經(jīng)組鏡框內(nèi)依次向后設置中間鏡組鏡框、光欄組鏡框和外偏心鏡框；中間鏡組鏡框的偏心圓柱面與后鏡組鏡框配合，以及外偏心鏡框與后鏡組鏡框配合形成雙偏心結(jié)構(gòu)，偏心機構(gòu)壓圈邊緣固定于后鏡組鏡框上，將內(nèi)偏心鏡框、外偏心鏡框固定在后鏡組鏡框內(nèi)；所述后鏡組鏡框尾部內(nèi)設置第八透鏡并由后鏡組壓圈固定。

2.如權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機的低應力窄帶紫外鏡頭，其特征在于中間鏡組鏡框設置有定位螺孔，所述定位螺孔設置在第二透鏡、第三透鏡和第四透鏡圓周四側(cè)。

3.如權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機的低應力窄帶紫外鏡頭，其特征在于第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡、第七透鏡和第八透鏡與各鏡框間縫隙用雙組份光學軟裝膠粘接。

4.如權(quán)利要求3所述的一種用于光刻機的低應力窄帶紫外鏡頭，其特征在于前鏡組鏡框內(nèi)設置注膠槽，所述注膠槽寬2mm，與第一透鏡圓柱面之間間隔為0.1mm~0.5mm，內(nèi)偏心鏡框內(nèi)設置注膠槽，所述注膠槽寬2mm，與第五透鏡、第六透鏡和第七透鏡圓柱面之間間隔為0.75mm；所述注膠槽內(nèi)均勻分布點膠孔，點膠孔設置為8個，點膠孔直徑為2mm。

5.如權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機的低應力窄帶紫外鏡頭，其特征在于中間鏡組鏡框上設置平衡孔，所述平衡孔直徑為2mm，平衡孔貫穿中間組鏡框。

6.如權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機的低應力窄帶紫外鏡頭，其特征在于還包括調(diào)整環(huán)，調(diào)整環(huán)設置于前鏡組頭部并與前鏡組鏡框螺紋連接。

7.如權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機的低應力窄帶紫外鏡頭，其特征在于前鏡組和中間鏡組連接處設置調(diào)整墊片。