[發明專利]蒸發器換熱組件、換熱水箱及晶圓加工設備用溫控裝置

有效

• 申請號: 202110272136.8
• 申請日: 2021-03-12
• 公開（公告）號: CN113028684B
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 劉紫陽;何文明;胡文達;靳李富;芮守禎;曹小康
• 申請（專利權）人: 北京京儀自動化裝備技術股份有限公司
• 主分類號: F25B39/02
• 分類號: F25B39/02;F28F9/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 吳歡燕

1.一種蒸發器換熱組件，其特征在于，包括：

蒸發器，包括翅片；

導流組件，包括位于所述蒸發器相對兩側且上下錯位設置的導流槽，位于所述蒸發器相對兩側的所述導流槽之間通過翅片流體連通，以形成經過所述翅片的導流路徑；所述導流槽包括位于所述蒸發器第一側的第一導流槽和位于所述蒸發器第二側的第二導流槽，所述第一側和所述第二側相對設置。

2.根據權利要求1所述的蒸發器換熱組件，其特征在于，所述導流槽包括沿著所述導流路徑位于上方的第一導流側壁和位于下方的第二導流側壁，所述第一導流側壁和所述第二導流側壁相對設置，所述翅片一端銜接所述第二導流側壁，另一端對應所述導流槽的槽口。

3.根據權利要求1所述的蒸發器換熱組件，其特征在于，所述導流組件還包括：

第一擋板和第二擋板，所述第一擋板和所述第二擋板相對設置，且所述第一擋板封堵所述導流槽的第一端，所述第二擋板封堵所述導流槽的第二端。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的蒸發器換熱組件，其特征在于，所述第一導流槽和所述第二導流槽的數量均為多個。

5.根據權利要求4所述的蒸發器換熱組件，其特征在于，所述第一導流槽和所述第二導流槽均包括多個間隔設置的C字型導流槽以及位于相鄰所述C字型導流槽之間的間隙導流槽。

6.一種換熱水箱，其特征在于，包括：

箱體，形成有換熱介質的入口和出口；

權利要求1至5中任意一項所述的蒸發器換熱組件，所述蒸發器換熱組件位于所述箱體中，且所述導流路徑形成于所述入口和所述出口之間，且所述導流路徑經過所述蒸發器的上部集管進入所述導流槽，并通過所述蒸發器的下部集管離開所述下部集管。

7.根據權利要求6所述的換熱水箱，其特征在于，所述箱體內設置有分隔板，所述分隔板將所述箱體分隔形成第一容納腔室和第二容納腔室，所述第一容納腔室和所述第二容納腔室底部連通，所述蒸發器換熱組件位于所述第一容納腔室，所述第二容納腔室中設置有加熱器。

8.根據權利要求7所述的換熱水箱，其特征在于，所述分隔板底部形成有多個通孔，多個所述通孔連通所述第一容納腔室和所述第二容納腔室，所述通孔對應所述分隔板中部的開孔比率小于所述通孔對應所述分隔板兩側的開孔比率。

9.根據權利要求7或8所述的換熱水箱，其特征在于，在所述導流組件包括第一擋板和第二擋板的情況下，所述第一擋板和所述第二擋板的一側均抵接所述分隔板，另一端均抵接所述第一容納腔室的內壁，以在所述第一擋板、所述第二擋板、所述分隔板和所述內壁之間形成換熱介質的流通腔室；

和/或，所述入口連通所述第一容納腔室，所述出口連通所述第二容納腔室，所述第二容納腔室連通加液管；

和/或，所述加熱器通過法蘭連接所述第二容納腔室的側壁，且所述加熱器一端位于所述第二容納腔室中，另一端伸出于所述第二容納腔室。

10.一種晶圓加工設備用溫控裝置，其特征在于，包括權利要求6至9中任意一項所述的換熱水箱。