[發(fā)明專(zhuān)利]透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法和透明導(dǎo)電性薄膜

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110268823.2
• 申請(qǐng)日: 2021-03-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113393972A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梶原大輔;碓井圭太
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日東電工株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01B13/00
• 分類(lèi)號(hào): H01B13/00;H01B5/14
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

提供透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法和透明導(dǎo)電性薄膜。透明導(dǎo)電性薄膜(2)的制造方法中，一邊沿長(zhǎng)度方向輸送長(zhǎng)條透明薄膜(10)，一邊在長(zhǎng)條透明薄膜(10)的一個(gè)面上形成透明導(dǎo)電層(22)。透明導(dǎo)電層(22)通過(guò)一邊沿成膜輥(15)的周面輸送長(zhǎng)條透明薄膜(10)一邊濺射來(lái)形成。透明導(dǎo)電層(22)的厚度超過(guò)35nm。透明導(dǎo)電層(22)在形成時(shí)與長(zhǎng)條透明薄膜(10)的長(zhǎng)度方向垂直的截面的每單位面積的輸送張力為3.3N/mm²以上。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法和透明導(dǎo)電性薄膜，詳細(xì)而言，涉及透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法、和利用該透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法制造的透明導(dǎo)電性薄膜。

背景技術(shù)

目前，已知利用輥對(duì)輥方式在基材薄膜上層疊透明導(dǎo)電層而制造導(dǎo)電性薄膜的方法。

作為這樣的方法，例如提出了如下方法：一邊沿成膜輥的周面輸送長(zhǎng)條的PET薄膜基材，一邊通過(guò)濺射層疊厚度25nm的ITO膜，從而制造透明導(dǎo)電性薄膜(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1的實(shí)施例。)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2012-234796號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

但是，一邊沿成膜輥的周面輸送長(zhǎng)條基材一邊在長(zhǎng)條基材的一個(gè)面上層疊透明導(dǎo)電層時(shí)，存在如下的情況：如果輸送張力低，則不能實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)條基材和成膜輥的密合，長(zhǎng)條基材的寬度方向外側(cè)(短邊方向兩端)浮起。

在這樣的情況下，無(wú)法利用成膜輥對(duì)長(zhǎng)條基材的短邊方向外側(cè)進(jìn)行充分冷卻。

于是，層疊在長(zhǎng)條基材的短邊方向外側(cè)的透明導(dǎo)電層與層疊在長(zhǎng)條基材的短邊方向內(nèi)側(cè)的透明導(dǎo)電層相比，結(jié)晶化進(jìn)展，其結(jié)果，表面電阻變低。

另一方面，從降低表面電阻的觀點(diǎn)出發(fā)，研究了進(jìn)一步增大透明導(dǎo)電層的厚度。

但是，透明導(dǎo)電層的厚度變厚時(shí)，存在層疊在長(zhǎng)條基材的外側(cè)的透明導(dǎo)電層與層疊在長(zhǎng)條基材的內(nèi)側(cè)的透明導(dǎo)電層的電阻的差變大的不良情況。

本發(fā)明提供具備在短邊方向上電阻值的偏差小的透明導(dǎo)電層的透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法、和利用該透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法制造的透明導(dǎo)電性薄膜。

用于解決問(wèn)題的方案

本發(fā)明[1]為一種透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法，其中，一邊沿長(zhǎng)度方向輸送長(zhǎng)條透明薄膜、一邊在前述長(zhǎng)條透明薄膜的一個(gè)面上形成透明導(dǎo)電層，前述透明導(dǎo)電層通過(guò)一邊沿成膜輥的周面輸送前述長(zhǎng)條透明薄膜一邊濺射來(lái)形成，前述透明導(dǎo)電層的厚度超過(guò)35nm，前述透明導(dǎo)電層在形成時(shí)與前述長(zhǎng)條透明薄膜的長(zhǎng)度方向垂直的截面的每單位面積的輸送張力為3.3N/mm²以上。

本發(fā)明[2]包含上述[1]所述的透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法，其中，前述長(zhǎng)條透明薄膜為環(huán)烯烴薄膜。

本發(fā)明[3]包含上述[1]或[2]所述的透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法，其中，前述長(zhǎng)條透明薄膜的厚度為10μm以上且70μm以下。

本發(fā)明[4]包含上述[1]～[3]中任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法，其中，前述透明導(dǎo)電層包含非晶部。

本發(fā)明[5]包含上述[1]～[4]中任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法，其中，前述透明導(dǎo)電層包含銦錫復(fù)合氧化物作為主成分。

本發(fā)明[6]包含上述[1]～[5]中任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性薄膜的制造方法，其中，前述成膜輥的表面溫度為20℃以上且60℃以下。