[發明專利]一種用于離子源的條形柵網組件

有效

• 申請號: 202110268293.1
• 申請日: 2021-03-12
• 公開（公告）號: CN113053709B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 龔俊;范江華;佘鵬程;張雙景;石任憑
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01J37/08
• 分類號: H01J37/08;H01J37/305
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 戴玲

1.一種用于離子源的條形柵網組件，其特征在于：包括由上至下間隔布置的地柵網(1)、加速柵網(2)和屏柵網(3)，所述地柵網(1)對應設有用于安裝地柵網(1)的地柵法蘭(4)，所述加速柵網(2)對應設有包括用于安裝加速柵網(2)的加速柵法蘭(5)，所述屏柵網(3)對應設有用于安裝屏柵網(3)的屏柵法蘭(6)，所述屏柵法蘭(6)、加速柵法蘭(5)和地柵法蘭(4)三者相連，所述地柵網(1)、加速柵網(2)和屏柵網(3)均為條形，在與地柵網(1)寬度方向平行的縱截面內，所述地柵網(1)為向加速柵網(2)凸出的圓弧；在與加速柵網(2)寬度方向平行的縱截面內，所述加速柵網(2)為向屏柵網(3)凸出的圓弧；在與屏柵網(3)寬度方向平行的縱截面內，所述屏柵網(3)為向遠離加速柵網(2)方向凸出的圓弧，所述地柵網(1)、加速柵網(2)和屏柵網(3)相互平行，各柵網上的孔為腰型孔(11)或者圓形孔，所述屏柵法蘭(6)上設有安裝沉臺(61)，所述屏柵網(3)通過第一柵網緊固件(81)固定在安裝沉臺(61)內，所述屏柵法蘭(6)與地柵法蘭(4)之間通過第一法蘭緊固件(82)連接，所述地柵法蘭(4)設有安裝凸臺(41)，所述地柵網(1)通過第二柵網緊固件(83)固定在安裝凸臺(41)上，所述加速柵網(2)通過第三柵網緊固件(84)固定在加速柵法蘭(5)，所述加速柵法蘭(5)與地柵法蘭(4)之間通過第二法蘭緊固件(85)連接。

2.根據權利要求1所述的用于離子源的條形柵網組件，其特征在于：所述屏柵法蘭(6)的安裝沉臺(61)上設有避讓第三柵網緊固件(84)的避讓孔(62)；所述屏柵法蘭(6)上設有用于與放電室連接的安裝孔(63)，所述地柵法蘭(4)的對應安裝孔(63)的位置設有避讓的避讓槽(42)。

3.根據權利要求1所述的用于離子源的條形柵網組件，其特征在于：所述地柵法蘭(4)、加速柵法蘭(5)、屏柵法蘭(6)上均設有定位銷孔(40)。

4.根據權利要求1所述的用于離子源的條形柵網組件，其特征在于：所述第一法蘭緊固件(82)上套設有用于使屏柵法蘭(6)與地柵法蘭(4)之間絕緣的絕緣陶瓷件(7)；第二法蘭緊固件(85)上套設有用于使加速柵法蘭(5)與地柵法蘭(4)之間絕緣的絕緣陶瓷件(7)。

5.根據權利要求4所述的用于離子源的條形柵網組件，其特征在于：所述絕緣陶瓷件(7)外設有防污屏蔽罩(71)。

6.根據權利要求1所述的用于離子源的條形柵網組件，其特征在于：所述地柵法蘭(4)的兩端用于安裝中和燈絲(9)的中和燈絲座(91)。