[發明專利]零相位差位置尋找方法、掃描系統及存儲介質

有效

• 申請號: 202110266959.X
• 申請日: 2021-03-11
• 公開（公告）號: CN113029366B
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發明（設計）人: 陳魯;陳馳;馬硯忠;楊樂;張威;白園園;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 邵泳城

本申請提供一種零相位差位置尋找方法、掃描系統及存儲介質。該方法包括：調整掃描機構的干涉物鏡與待測物之間在預設方向上的相對位置，以使干涉物鏡從預設的零位位置到達預設的偏移位置，在預設方向上，偏移位置與零位位置之間具有偏移量；通過掃描機構采集光譜信號，并根據光譜信號獲取待測物各膜層相對零位位置之間的多個距離；及根據每個距離及偏移量確定干涉物鏡相對待測物的各膜層的零相位差位置。本申請的零相位差位置尋找方法、掃描系統及存儲介質中，通過干涉物鏡相對零位位置的偏移量及實時計算得到的待測物的各膜層相對零位位置的距離，解算出待測物的各膜層對應的零相位差位置，縮短掃描時間，提高測量效率。

技術領域

本申請涉及測量技術領域，更具體而言，涉及一種零相位差位置尋找方法、掃描系統及非易失性計算機可讀存儲介質。

背景技術

目前，采用白光干涉技術測量工件表面時，其中光源多為低相干光源，干涉區域只在有限的空間范圍內出現，測量范圍不可避免包含大量無干涉區域，若零相位差位置定位不好，容易延長干涉儀掃描時間，影響測量效率。

發明內容

本申請實施方式提供一種零相位差位置尋找方法、掃描系統及非易失性計算機可讀存儲介質。

本申請實施方式的零相位差位置尋找方法包括：調整掃描機構的干涉物鏡與待測物之間在預設方向上的相對位置，以使干涉物鏡從預設的零位位置到達預設的偏移位置，在預設方向上，偏移位置與零位位置之間具有偏移量；通過掃描機構采集光譜信號，并根據光譜信號獲取待測物各膜層相對零位位置之間的多個距離；及根據每個距離及偏移量確定干涉物鏡相對待測物的各膜層的零相位差位置。

本申請實施方式的一種掃描系統，包括用于對待測物進行掃描檢測的掃描機構及一個或多個處理器。掃描機構包括干涉物鏡。一個或多個處理器用于：控制調整掃描機構的干涉物鏡與待測物之間在預設方向上的相對位置，以使干涉物鏡從預設的零位位置到達預設的偏移位置，在預設方向上，偏移位置與零位位置之間具有偏移量；掃描機構用于采集光譜信號，一個或多個處理器還用于根據光譜信號獲取待測物各膜層相對零位位置之間的多個距離；及根據每個距離及偏移量獲取干涉物鏡相對待測物的各膜層的零相位差位置。

本申請實施方式的一種非易失性計算機可讀存儲介質存儲有計算機程序，當計算機程序被一個或多個處理器執行時，使得處理器能夠實現如下零相位差位置尋找方法：調整掃描機構的干涉物鏡與待測物之間在預設方向上的相對位置，以使干涉物鏡從預設的零位位置到達預設的偏移位置，在預設方向上，偏移位置與零位位置之間具有偏移量；通過掃描機構采集光譜信號，并根據光譜信號獲取待測物各膜層相對零位位置之間的多個距離；及根據每個距離及偏移量確定干涉物鏡相對待測物的各膜層的零相位差位置。

本申請的零相位差位置尋找方法、掃描系統及存儲介質中，通過干涉物鏡相對零位位置的偏移量及實時計算得到的待測物的各膜層相對零位位置的距離，解算出待測物的各膜層對應的零相位差位置，縮短掃描時間，提高測量效率。

本申請的實施方式的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本申請的實施方式的實踐了解到。

附圖說明

本申請的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施方式的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是本申請某些實施方式的零相位差位置尋找方法的流程圖；

圖2是本申請某些實施方式的掃描系統的結構示意圖；

圖3a和圖3b是本申請某些實施方式的零相位差位置尋找方法的示意圖；

圖4至圖7是本申請某些實施方式的零相位差位置尋找方法的流程圖；

圖8是本申請某些實施方式的零相位差位置尋找方法中的波長與光譜信號的示意圖；

圖9是本申請某些實施方式的零相位差位置尋找方法中的掃描方向與膜層響應的示意圖；