[發(fā)明專利]材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成方法、系統(tǒng)、裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110266956.6
• 申請日: 2021-03-11
• 公開（公告）號: CN113270155B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 來天行;陳才;汪洪
• 申請（專利權(quán)）人: 上海交通大學(xué)
• 主分類號: G16C60/00
• 分類號: G16C60/00
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 鄔嫡波

本發(fā)明提供一種材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成方法、系統(tǒng)、裝置，獲取材料樣品表面上預(yù)設(shè)數(shù)量的標(biāo)記，并將所述標(biāo)記作為參考點(diǎn)；獲取參考點(diǎn)在樣品臺坐標(biāo)系的坐標(biāo)為第一坐標(biāo)集U；獲取參考點(diǎn)在設(shè)備坐標(biāo)系的坐標(biāo)為第二坐標(biāo)集X；基于所述第一坐標(biāo)集U和第二坐標(biāo)集X通過預(yù)設(shè)坐標(biāo)系轉(zhuǎn)換算法計(jì)算所述樣品臺坐標(biāo)系和設(shè)備坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換關(guān)系；獲取在樣品臺坐標(biāo)系需要表征的第一表征點(diǎn)集，基于轉(zhuǎn)換關(guān)系獲取所述第一表征點(diǎn)集在設(shè)備坐標(biāo)系的第二表征點(diǎn)集，基于所述第二表征點(diǎn)集在設(shè)備坐標(biāo)系繪制表征點(diǎn)。本發(fā)明的一種材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成方法、系統(tǒng)、裝置，用于高通量薄膜實(shí)驗(yàn)樣品在不同坐標(biāo)系中位置的確定以及高通量表征點(diǎn)的生成。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及樣品表征點(diǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成方法、系統(tǒng)、裝置。

背景技術(shù)

在材料科學(xué)的實(shí)驗(yàn)過程中，有時需要確定實(shí)驗(yàn)樣品上同一點(diǎn)或一系列點(diǎn)在不同的系統(tǒng)中的精確坐標(biāo)，而在高通量實(shí)驗(yàn)中，這一點(diǎn)尤為重要。以高通量組合材料芯片為例，單塊薄膜樣品上成分梯度變化，每一個點(diǎn)的成分均不相同，通過快速大量地對一系列成分點(diǎn)進(jìn)行一種或多種表征來高效地完成實(shí)驗(yàn)研究，而由于沒有相應(yīng)的參考坐標(biāo)系及坐標(biāo)確定轉(zhuǎn)換方法，樣品在不同設(shè)備系統(tǒng)中無法精確定位，即不同系統(tǒng)之間無法保證表征同一點(diǎn)，同時無法方便的獲知表征位置的設(shè)計(jì)成分空間坐標(biāo)，以及不能快速生成所需要表征點(diǎn)的坐標(biāo)，影響實(shí)驗(yàn)的精度和效率。

因此，希望能夠解決如何準(zhǔn)確地進(jìn)行材料樣品表征點(diǎn)確定的問題。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成方法、系統(tǒng)、裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中如何準(zhǔn)確地進(jìn)行材料樣品表征點(diǎn)確定的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成方法，包括以下步驟：獲取材料樣品表面上預(yù)設(shè)數(shù)量的標(biāo)記，并將所述標(biāo)記作為參考點(diǎn)；獲取所述參考點(diǎn)在樣品臺坐標(biāo)系的坐標(biāo)為第一坐標(biāo)集U；獲取所述參考點(diǎn)在設(shè)備坐標(biāo)系的坐標(biāo)為第二坐標(biāo)集X；基于所述第一坐標(biāo)集U和第二坐標(biāo)集X通過預(yù)設(shè)坐標(biāo)系轉(zhuǎn)換算法計(jì)算所述樣品臺坐標(biāo)系和設(shè)備坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換關(guān)系；獲取在樣品臺坐標(biāo)系需要表征的第一表征點(diǎn)集，基于轉(zhuǎn)換關(guān)系獲取所述第一表征點(diǎn)集在設(shè)備坐標(biāo)系的第二表征點(diǎn)集，基于所述第二表征點(diǎn)集在設(shè)備坐標(biāo)系繪制表征點(diǎn)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成系統(tǒng)，包括：標(biāo)記模塊、第一獲取模塊、第二獲取模塊、轉(zhuǎn)換模塊和繪制模塊；所述標(biāo)記模塊用于獲取材料樣品表面上預(yù)設(shè)數(shù)量的標(biāo)記，并將所述標(biāo)記作為參考點(diǎn)；所述第一獲取模塊用于獲取所述參考點(diǎn)在樣品臺坐標(biāo)系的坐標(biāo)為第一坐標(biāo)集U；所述第二獲取模塊用于獲取所述參考點(diǎn)在設(shè)備坐標(biāo)系的坐標(biāo)為第二坐標(biāo)集X；所述轉(zhuǎn)換模塊用于基于所述第一坐標(biāo)集U和第二坐標(biāo)集X通過預(yù)設(shè)坐標(biāo)系轉(zhuǎn)換算法計(jì)算所述樣品臺坐標(biāo)系和設(shè)備坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換關(guān)系；所述繪制模塊用于獲取在樣品臺坐標(biāo)系需要表征的第一表征點(diǎn)集，基于轉(zhuǎn)換關(guān)系獲取所述第一表征點(diǎn)集在設(shè)備坐標(biāo)系的第二表征點(diǎn)集，基于所述第二表征點(diǎn)集在設(shè)備坐標(biāo)系繪制表征點(diǎn)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種計(jì)算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，其上存儲有計(jì)算機(jī)程序，所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時實(shí)現(xiàn)任一上述材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成方法。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成裝置，包括：處理器和存儲器；所述存儲器用于存儲計(jì)算機(jī)程序；所述處理器與所述存儲器相連，用于執(zhí)行所述存儲器存儲的計(jì)算機(jī)程序，以使所述材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成裝置執(zhí)行任一上述的材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成方法。

如上所述，本發(fā)明的一種材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成方法、系統(tǒng)、裝置，具有以下有益效果：用于高通量薄膜實(shí)驗(yàn)樣品在不同坐標(biāo)系中位置的確定以及高通量表征點(diǎn)的生成。

附圖說明

圖1a顯示為本發(fā)明的材料樣品坐標(biāo)系確定和轉(zhuǎn)換及表征點(diǎn)生成方法于一實(shí)施例中的流程圖；