[發明專利]一種IGZO粉體、靶材及其制備方法

在審

• 申請號: 202110266688.8
• 申請日: 2021-03-11
• 公開（公告）號: CN112939576A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發明（設計）人: 李開杰;邵學亮;張來穩;朱劉
• 申請（專利權）人: 先導薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號: C04B35/01
• 分類號: C04B35/01;C04B35/622;C04B35/626
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種IGZO粉體的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將氧化銦、氧化鎵及氧化鋅粉體混合后得到混合粉體，將混合粉體加入分散粘結劑水溶液中混合均勻，得漿料A；所述分散粘結劑水溶液中含有分散劑和粘結劑；所述分散劑包括聚乙烯吡絡烷酮、聚羧酸系化合物、聚乙烯酸鹽中的至少一種，所述粘結劑包括聚乙烯醇、聚乙二醇、羧甲基纖維素、聚丙烯酰胺、聚丙烯酸鹽中的至少一種；

(2)將步驟(1)所得漿料A依次進行超聲處理及研磨后，加入消泡劑繼續攪拌均勻，噴霧造粒，即得所述IGZO粉體；所述消泡劑包括聚二甲基硅氧烷、聚氧丙烯氧化乙烯甘油醚、正丁醇中的至少一種。

2.如權利要求1所述的IGZO粉體的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述的氧化銦、氧化鎵及氧化鋅粉體三者的質量比為45.11:28.76:26.29。

3.如權利要求1所述的IGZO粉體的制備方法，其特征在于，所述氧化銦、氧化鎵及氧化鋅粉體的平均粒度為120～300nm。

4.如權利要求1所述的IGZO粉體的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述混合粉體、分散劑及粘結劑三者的質量之比為1:(0.001～0.05):(0.01～0.08)。

5.如權利要求1所述的IGZO粉體的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述漿料A中固體所占質量百分比為50～70％。

6.如權利要求1所述的IGZO粉體的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述超聲處理的時間為10～80min，超聲的頻率為25～130kHz。

7.如權利要求1所述的IGZO粉體的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述研磨的轉速為800～1200rpm，研磨后的粉體D₅₀＝0.1～0.5μm，D₉₀＝0.1～1.5μm。

8.如權利要求1～7任一項所述IGZO粉體的制備方法制備的IGZO粉體。

9.一種IGZO靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括以下步驟：將實施例8所述IGZO粉體依次經過篩、加壓成型、煅燒后，即得所述IGZO靶材。

10.如權利要求9所述IGZO靶材的制備方法制備得到的IGZO靶材。