[發明專利]掩膜板組件及蒸鍍設備有效
| 申請號: | 202110265765.8 | 申請日: | 2021-03-11 |
| 公開(公告)號: | CN113046686B | 公開(公告)日: | 2022-08-19 |
| 發明(設計)人: | 鄧江濤;徐鵬 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/04 | 分類號: | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京博思佳知識產權代理有限公司 11415 | 代理人: | 曾鶯華 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 掩膜板 組件 設備 | ||
1.一種掩膜板組件,其特征在于,其包括:框架、層疊設置于所述框架上的第一掩膜板和第二掩膜板,所述第一掩膜板位于所述第二掩膜板遠離所述框架的一側;
所述第一掩膜板包括多條沿第一方向設置的掩膜條,相鄰的兩個所述掩膜條之間設有間隙,每一所述掩膜條上設有呈陣列排列的多個像素開口;
所述第二掩膜板包括主體以及沿主體的外周緣設置的支撐條,所述支撐條的第一端與所述主體連接,相對于所述第一端設置的第二端與所述框架連接,所述主體上設置有呈陣列排列的多個用于限定顯示區域的形狀的開口,所述開口的尺寸小于所述掩膜條的尺寸,所述支撐條包括多條沿所述第一方向的第一支撐條、以及多條沿垂直于所述第一方向的第二方向設置的第二支撐條,多條所述第一支撐條沿第二方向間隔設置,多條所述第二支撐條沿第一方向間隔設置;
其中,位于最外側的所述第一支撐條的第一端以及位于最外側的所述第二支撐條的第一端的寬度均由遠離所述主體至靠近所述主體的方向逐漸遞增,且所述第一支撐條對應于所述間隙設置。
2.如權利要求1所述的掩膜板組件,其特征在于,位于最外側的所述第一支撐條的第一端以及位于最外側的所述第二支撐條的第一端的相對設置的兩個側邊與所述主體的連接處均為圓角設置。
3.如權利要求1所述的掩膜板組件,其特征在于,位于最外側的所述第一支撐條的第一端以及位于最外側的所述第二支撐條的第一端的相對設置的兩個側邊均由遠離所述主體至靠近所述主體的方向向外斜向延伸;
位于最外側的所述第一支撐條的第一端以及位于最外側的所述第二支撐條的第一端的相對設置的兩個側邊為直線形或者弧形。
4.如權利要求1所述的掩膜板組件,其特征在于,
至少部分其余所述第一支撐條的第一端的寬度均由遠離所述主體至靠近所述主體的方向逐漸遞增;和/或,
至少部分其余所述第二支撐條的第一端的寬度均由遠離所述主體至靠近所述主體的方向逐漸遞增。
5.如權利要求4所述的掩膜板組件,其特征在于,至少部分其余所述第一支撐條的第一端的相對設置的兩個側邊與所述主體的連接處均為圓角設置;和/或,
至少部分其余所述第二支撐條的第一端的相對設置的兩個側邊與所述主體的連接處均為圓角設置。
6.如權利要求1-5中任意一項所述的掩膜板組件,其特征在于,所述第一支撐條的第二端的寬度小于或等于所述間隙的寬度。
7.如權利要求1-5中任意一項所述的掩膜板組件,其特征在于,所述第一支撐條的第二端的寬度為所述第一支撐條的最小寬度,所述第一支撐條的最小寬度為1.8mm~2.0mm。
8.如權利要求1-5中任意一項所述的掩膜板組件,其特征在于,所述主體的設置第一支撐條的側邊為第一側邊,設置所述第二支撐條的側邊為第二側邊;
所述框架的內邊緣到所述主體的第一側邊的距離D大于5mm且小于所述開口沿所述第一方向的尺寸,所述第一支撐條的長度比所述距離D長5mm以上:
所述框架的內邊緣到所述主體的第二側邊的距離K大于5mm且小于所述開口沿所述第二方向的尺寸,所述第二支撐條的長度比所述距離K長5mm以上。
9.如權利要求1-5中任意一項所述的掩膜板組件,其特征在于,相鄰的兩個所述第二支撐條之間的間距大于所述開口沿所述第一方向的尺寸。
10.一種蒸鍍設備,其特征在于,包括權利要求1-9任一項所述的掩膜板組件。
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