[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)處理方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110264915.3
• 申請日: 2021-03-11
• 公開（公告）號: CN112883056B
• 公開（公告）日: 2023-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳小川;邵康鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州廣立微電子股份有限公司
• 主分類號: G06F16/245
• 分類號: G06F16/245;G06F16/2455;G06F16/2458
• 代理公司: 江蘇坤象律師事務(wù)所 32393
• 代理人: 趙新民

1.一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，包括：

步驟S1.從數(shù)據(jù)庫中，讀取晶圓或晶粒下全部或部分器件名稱下的全部或部分測試數(shù)據(jù)，確定器件名稱所對應(yīng)的測試數(shù)據(jù)；

步驟S2.根據(jù)用戶需求確定選定器件名稱，提取選定器件名稱對應(yīng)的測試數(shù)據(jù)；對提取的所述選定器件名稱下的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)預(yù)處理；所述預(yù)處理包括先將提取的測試數(shù)據(jù)定義為A，將A進(jìn)行數(shù)據(jù)預(yù)處理后得到的數(shù)據(jù)記為B，處理公式是B＝|(log?A)×100|；

步驟S3.對提取的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行分組處理，確定特定分位值對應(yīng)的分位數(shù)；包括：

自定義分組規(guī)則，將所述測試數(shù)據(jù)分成若干組；根據(jù)測試數(shù)據(jù)總量和數(shù)據(jù)值的密集程度數(shù)據(jù)特征來確定所述自定義分組規(guī)則；

根據(jù)所述特定分位值確定其所在分組的分組編號、所在分組的下一分組編號；根據(jù)所述所在分組的分組編號和所述下一分組編號各自對應(yīng)的分組中數(shù)據(jù)最小值和所述數(shù)據(jù)最小值對應(yīng)的分位值計算特定分位值對應(yīng)的分位數(shù)；

步驟S1中確定器件名稱所對應(yīng)的測試數(shù)據(jù)后，還包括將讀取到的所述測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計；所述步驟S2中提取所述選定器件名稱對應(yīng)的測試數(shù)據(jù)后，還包括針對所述選定器件名稱對應(yīng)的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計；

所述統(tǒng)計的結(jié)果包括：測試數(shù)據(jù)總和記為sum、測試數(shù)據(jù)總量記為count；

所述步驟S3中，所述測試數(shù)據(jù)分成若干組后，還根據(jù)數(shù)據(jù)值的大小對所有分組中的測試數(shù)據(jù)分別進(jìn)行排序，記錄分組數(shù)及每組中測試數(shù)據(jù)的最小值，根據(jù)分組數(shù)、每個分組中數(shù)據(jù)最小值和所述測試數(shù)據(jù)總量得出每個分組所述數(shù)據(jù)最小值對應(yīng)的分位值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

將所述特定分位值所在分組中測試數(shù)據(jù)的最小值記為Y1，將分組編號相鄰的下一分組中測試數(shù)據(jù)的最小值記為Y2，并將其對應(yīng)的分位值分別記為X1和X2，特定分位值記為X；

通過公式：確定所述特定分位值對應(yīng)的分位數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，所述步驟S3中，基于步驟S2統(tǒng)計的結(jié)果確定所述提取的測試數(shù)據(jù)的統(tǒng)計值，包括：通過所述提取的測試數(shù)據(jù)對應(yīng)的sum和count相除得到所述提取的測試數(shù)據(jù)平均值，記為mean；所述提取的測試數(shù)據(jù)平方總和記為sum2；基于所述提取的測試數(shù)據(jù)平方總和sum2，通過公式：sum2–2×mean²得到所述提取的測試數(shù)據(jù)的方差值。

4.一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于，包括相互通信連接的數(shù)據(jù)庫、服務(wù)器和電子設(shè)備；

所述數(shù)據(jù)庫存儲有晶圓測試數(shù)據(jù)；

用戶通過所述電子設(shè)備控制數(shù)據(jù)處理過程，并對數(shù)據(jù)處理結(jié)果進(jìn)行操作；

所述服務(wù)器包括存儲器和處理器；所述存儲器存儲有計算程序，當(dāng)所述計算程序被運(yùn)行時，所述處理器執(zhí)行權(quán)利要求1-3任意一項所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)處理方法。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于，所述處理器設(shè)置有數(shù)據(jù)獲取單元、統(tǒng)計單元、選擇單元、預(yù)處理單元和分組操作單元；

所述數(shù)據(jù)獲取單元用于從所述數(shù)據(jù)庫中，讀取晶圓或晶粒下全部或部分器件名稱下的全部或部分測試數(shù)據(jù)；

所述統(tǒng)計單元用于對所述測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計，包括確定器件名稱所對應(yīng)的器件的測試數(shù)據(jù)，獲得所述器件的測試數(shù)據(jù)的統(tǒng)計值；

所述選擇單元用于根據(jù)用戶需求確定選定器件名稱，提取所述選定器件名稱對應(yīng)的器件的測試數(shù)據(jù)及其統(tǒng)計值；

所述預(yù)處理單元用于對提取的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)預(yù)處理；包括：對提取的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)預(yù)處理得到提取的測試數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)集合；

所述分組操作單元用于對提取的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行分組處理，獲得特定分位值對應(yīng)的分位數(shù)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于，所述預(yù)處理單元將所述選定器件名稱下的測試數(shù)據(jù)定義為A，將A經(jīng)過數(shù)據(jù)預(yù)處理得到的測試數(shù)據(jù)定義為B，處理公式是：B＝|(log?A)×100|。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于，所述分組操作單元包括：分組統(tǒng)計模塊、分組處理模塊及分位數(shù)運(yùn)算模塊；

所述分組統(tǒng)計模塊按自定義分組規(guī)則將所述提取的測試數(shù)據(jù)分成若干組，記錄分組數(shù)及每組中測試數(shù)據(jù)的最小值及測試數(shù)據(jù)的總量；

所述分組處理模塊還根據(jù)數(shù)據(jù)值的大小對所有分組中的測試數(shù)據(jù)分別進(jìn)行排序，并根據(jù)分組數(shù)、每組中測試數(shù)據(jù)的最小值及測試數(shù)據(jù)的總量所述最小值對應(yīng)的分位值，基于特定分位值確定其所在分組的分組編號及下一分組編號；

將所在分組中測試數(shù)據(jù)的最小值記為Y1，將分組編號相鄰的下一分組中測試數(shù)據(jù)的最小值記為Y2，并將對應(yīng)的分位值分別記為X1和X2，特定分位值記為X；所述分位數(shù)運(yùn)算模塊基于公式：計算所述特定分位值對應(yīng)的分位數(shù)，其中基于得到的所述Y確定其在數(shù)據(jù)預(yù)處理前對應(yīng)的數(shù)值Y’。