[發明專利]存儲器器件及其形成方法

在審

• 申請號: 202110259189.6
• 申請日: 2021-03-10
• 公開（公告）號: CN113421603A
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: 張盟昇;黃家恩;楊耀仁;王奕
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G11C17/16
• 分類號: G11C17/16;G11C17/18
• 代理公司: 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409
• 代理人: 章社杲;李偉

1.一種存儲器器件，包括：

第一編程柵極條，在垂直于第一方向的第二方向上延伸；

第一讀取柵極條，在所述第二方向上延伸；以及

第一一位存儲器單元的陣列，所述第一一位存儲器單元對準并且沿著所述第二方向分布，其中，每個所述第一一位存儲器單元包括：

第一反熔絲結構，具有位于有源區中的第一半導體區域上面的第一介電層，所述第一半導體區域位于所述第一編程柵極條和在所述第一方向上延伸的所述有源區的交點處，

第一晶體管，具有位于所述第一讀取柵極條和所述有源區的交點處的所述有源區中的第一溝道區域，

端子導體，位于所述有源區中的所述第一晶體管的端子區域上面；

一組第一編程導線，在所述第一方向上延伸，通過第一組一個或多個柵極通孔連接件導電地連接至所述第一編程柵極條，和

位連接件，通過一個或多個端子通孔連接件導電地連接至所述端子導體。

2.根據權利要求1所述的存儲器器件，其中，至少一個所述第一一位存儲器單元包括：

延伸的端子通孔連接件，將所述位連接件導電地連接至所述端子導體。

3.根據權利要求1所述的存儲器器件，其中，至少一個所述第一一位存儲器單元包括：

一組端子通孔連接件，將所述位連接件導電地連接至所述端子導體。

4.根據權利要求1所述的存儲器器件，還包括：

位導線的陣列，在所述第一方向上延伸，其中，每條所述位導線導電地連接至相應的第一一位存儲器單元中的所述位連接件。

5.根據權利要求1所述的存儲器器件，還包括：

第一讀取導線，在所述第一方向上延伸，導電地連接至所述第一讀取柵極條；以及

第一字讀取線，在所述第二方向上延伸，導電地連接至所述第一讀取導線。

6.根據權利要求1所述的存儲器器件，還包括：

第一字編程線，在所述第二方向上延伸，導電地連接至所述一組第一編程導線。

7.根據權利要求1所述的存儲器器件，其中，所述第一組一個或多個柵極通孔連接件包括至少兩個柵極通孔連接件，并且其中，所述第一一位存儲器單元中的每條第一編程導線通過所述至少兩個柵極通孔連接件中的一個導電地連接至所述第一編程柵極條。

8.根據權利要求1所述的存儲器器件，其中，所述第一組一個或多個柵極通孔連接件包括延伸的柵極通孔連接件，所述延伸的柵極通孔連接件將所述第一編程柵極條與由所述一組第一編程導線形成的合并的編程導線導電地連接。

9.一種存儲器器件，包括：

第一編程柵極條和第二編程柵極條，均在垂直于第一方向的第二方向上延伸；

第一讀取柵極條和第二讀取柵極條，均在所述第二方向上延伸，位于所述第一編程柵極條和所述第二編程柵極條之間；

第一反熔絲結構，具有位于有源區中的第一半導體區域上面的第一介電層，所述第一半導體區域位于所述第一編程柵極條和在所述第一方向上延伸的所述有源區的交點處；

第一晶體管，具有位于所述第一讀取柵極條和所述有源區的交點處的所述有源區中的第一溝道區域；

第二反熔絲結構，具有位于所述有源區中的第二半導體區域上面的第二介電層，所述第二半導體區域位于所述第二編程柵極條和所述有源區的交點處；

第二晶體管，具有位于所述第二讀取柵極條和所述有源區的交點處的所述有源區中的第二溝道區域；

端子導體，位于所述第一晶體管的所述第一溝道區域和所述第二晶體管的所述第二溝道區域之間的所述有源區中的端子區域上面；

一組第一編程導線，在所述第一方向上延伸，通過第一組一個或多個柵極通孔連接件導電地連接至所述第一編程柵極條；

一組第二編程導線，在所述第一方向上延伸，通過第二組一個或多個柵極通孔連接件導電地連接至所述第二編程柵極條；以及

位連接件，通過一個或多個端子通孔連接件導電地連接至所述端子導體。

10.一種形成存儲器器件的方法，所述方法包括由處理器生成所述存儲器器件的布局設計，其中，生成所述布局設計包括：

生成在第一方向上延伸的有源區圖案的陣列；

生成均在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸的第一編程柵極條圖案和第二編程柵極條圖案；

生成均在所述第二方向上延伸的平行地位于所述第一編程柵極條圖案和所述第二編程柵極條圖案之間的第一讀取柵極條圖案和第二讀取柵極條圖案；以及

生成用于所述有源區圖案的陣列中的每個有源區圖案的存儲器單元的圖案，其中，生成所述存儲器單元的圖案包括：

生成一組第一編程導線圖案，每個所述第一編程導線圖案在所述第一方向上延伸并且與所述第一編程柵極條圖案相交，

將第一組一個或多個柵極通孔連接件圖案定位為與所述第一編程柵極條圖案和所述一組第一編程導線圖案重疊，

生成在所述第一讀取柵極條圖案和所述第二讀取柵極條圖案之間的端子區域處與所述有源區圖案相交的端子導體圖案，

將位連接件圖案定位為與所述端子導體圖案重疊，和

將一個或多個端子通孔連接件圖案定位在所述位連接件圖案內。