[發明專利]一種具有金屬方形諧振陣列的太赫茲微流傳感器

有效

• 申請號: 202110259069.6
• 申請日: 2021-03-10
• 公開（公告）號: CN113049524B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 鄧琥;王民昌;尚麗平;康瑩;楊潔萍;武志翔;熊亮;劉泉澄;屈薇薇;李占鋒;何俊
• 申請（專利權）人: 西南科技大學;西安近代化學研究所
• 主分類號: G01N21/3581
• 分類號: G01N21/3581
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 王愛濤

1.一種具有金屬方形諧振陣列的太赫茲微流傳感器，其特征在于，包括：蓋層、金屬矩形諧振陣列、金屬反射鏡面和襯底；

所述襯底的表面設置所述金屬反射鏡面；所述金屬反射鏡面和所述蓋層相對設置，所述金屬反射鏡面和所述蓋層之間的空隙形成微流通道；所述金屬矩形諧振陣列設置在所述微流通道內，且位于所述蓋層的表面；

所述金屬矩形諧振陣列包括多個金屬矩形諧振單元，所述金屬矩形諧振環單元包括兩個相同的金屬矩形諧振環，所述金屬矩形諧振環螺旋繞制而成；兩個所述金屬矩形諧振環的外環相接；兩個所述金屬矩形諧振環旋轉對稱；

所述金屬矩形諧振環包括內環和外環，所述內環和所述外環連接，所述內環包括依次連接的第一諧振部、第二諧振部和第三諧振部，所述外環包括依次連接的第四諧振部、第五諧振部、第六諧振部和第七諧振部，所述第三諧振部和所述第四諧振部連接；

所述第一諧振部和所述第二諧振部平行，所述第三諧振部和所述第一諧振部垂直，所述第四諧振部和所述第六諧振部均和所述第三諧振部平行，所述第五諧振部和所述第七諧振部均和所述第一諧振部平行。

2.根據權利要求1所述的具有金屬方形諧振陣列的太赫茲微流傳感器，其特征在于，所述蓋層的厚度為40μm-60μm。

3.根據權利要求1所述的具有金屬方形諧振陣列的太赫茲微流傳感器，其特征在于，所述蓋層的材料為硅、石英、聚酰亞胺、含氟聚酰亞胺、聚乙烯或者聚四氟乙烯。

4.根據權利要求1所述的具有金屬方形諧振陣列的太赫茲微流傳感器，其特征在于，所述金屬矩形諧振陣列的厚度為0.1μm-0.2μm。

5.根據權利要求1所述的具有金屬方形諧振陣列的太赫茲微流傳感器，其特征在于，所述金屬矩形諧振陣列的材料為Al、Au、Ag、Cu或鈦鉑金合金。

6.根據權利要求1所述的具有金屬方形諧振陣列的太赫茲微流傳感器，其特征在于，所述微流通道的高度為5μm-10μm，寬度為1000μm-5000μm。

7.根據權利要求1所述的具有金屬方形諧振陣列的太赫茲微流傳感器，其特征在于，所述金屬反射鏡面的厚度為0.1μm-0.2μm。

8.根據權利要求1所述的具有金屬方形諧振陣列的太赫茲微流傳感器，其特征在于，所述金屬反射鏡面的材料為Al、Au、Ag、Cu或鈦鉑金合金。

9.根據權利要求1所述的具有金屬方形諧振陣列的太赫茲微流傳感器，其特征在于，所述襯底的厚度為10μm-500μm。