[發明專利]一種應用于極紫外設備的吸氣劑及制備裝置

在審

• 申請號: 202110258757.0
• 申請日: 2021-03-10
• 公開（公告）號: CN113042160A
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 王瀏杰;郭衛斌;薛函迎;柴云川
• 申請（專利權）人: 南京華東電子真空材料有限公司
• 主分類號: B02C17/10
• 分類號: B02C17/10;B02C17/18;B02C23/10;B08B15/02;B01J20/10;B01J20/08;B01J20/02;B01J20/30
• 代理公司: 南京蘇博知識產權代理事務所(普通合伙) 32411
• 代理人: 伍兵

1.一種應用于極紫外設備的吸氣劑，其特征在于，包括：

所述應用于極紫外設備的吸氣劑的顆粒成分為：Si₃N₄、Si、SiO₂、Al₂O₃、C、Mo、Zr、V、Fe、Ti和稀土，所述應用于極紫外設備的吸氣劑的顆粒大小為1-1000nm。

2.一種應用于極紫外設備的吸氣劑制備裝置，應用于制備如權利要求1所述的一種應用于極紫外設備的吸氣劑，其特征在于，包括外殼、四個支撐腿、隔板、攪拌機構、兩個外筒、兩個減震彈簧、兩個限位塊、兩個內筒、球磨機構、驅動機構、減震墊、固定桿、外圈、若干鋼球、內圈和篩分機構，四個所述支撐腿分別與所述外殼固定連接，均位于所述外殼的一側，所述外殼具有進料口和出料口，所述進料口位于遠離所述支撐腿的一側，所述出料口位于靠近所述支撐腿的一側，所述隔板與所述外殼固定連接，并位于所述外殼內部，所述隔板具有排料口所述攪拌機構與所述隔板固定連接，并貫穿所述隔板，兩個所述外筒分別與所述外殼固定連接，均位于所述外殼內部，兩個所述減震彈簧分別與兩個所述外筒固定連接，均位于所述外筒內部，兩個所述限位塊分別與兩個所述減震彈簧固定連接，均位于所述外筒內部，兩個所述內筒分別與兩個所述限位塊固定連接，均位于所述外筒外部，所述球磨機構的兩側分別與兩個所述內筒轉動連接，并位于兩個所述內筒之間，所述驅動機構的一側與所述外殼固定連接，并位于所述外殼內部，所述驅動機構的另一側與所述球磨機構固定連接，并位于所述球磨機構四周，所述減震墊與所述隔板固定連接，并位于靠近所述球磨機構的一側，所述固定桿與所述減震墊的另一側固定連接，所述外圈與所述固定桿的另一側固定連接，若干所述鋼球分別與所述外圈滑動連接，均位于所述外圈內側，所述內圈的一側與若干所述鋼球固定連接，并位于遠離所述外圈的一側，所述內圈的另一側與所述球磨機構固定連接，并位于所述球磨機構四周，所述篩分機構與所述外殼固定連接，均位于所述外圈內部。

3.如權利要求2所述的一種應用于極紫外設備的吸氣劑制備裝置，其特征在于，所述攪拌機構包括第一電機、第一轉軸和攪拌扇葉，所述第一電機與所述隔板固定連接，并位于靠近所述球磨機構的一側，所述第一轉軸與所述第一電機輸出端固定連接，并貫穿所述隔板，所述攪拌扇葉與所述第一轉軸的另一側固定連接。

4.如權利要求3所述的一種應用于極紫外設備的吸氣劑制備裝置，其特征在于，所述攪拌機構還包括刮板，所述刮板與所述第一轉軸固定連接，并位于所述第一轉軸外側壁。

5.如權利要求2所述的一種應用于極紫外設備的吸氣劑制備裝置，其特征在于，所述驅動機構包括第二電機、第二轉軸、第一齒輪和第二齒輪，所述第二電機與所述外殼固定連接，并位于所述外殼內部，所述第二轉軸與所述第二電機輸出端固定連接，所述第一齒輪與所述第二轉軸的另一側固定連接，所述第二齒輪與所述球磨機構固定連接，并位于所述球磨機構四周，所述第一齒輪與所述第二齒輪嚙合。

6.如權利要求2所述的一種應用于極紫外設備的吸氣劑制備裝置，其特征在于，所述應用于極紫外設備的吸氣劑制備裝置還包括抑塵蓋和成品盒，所述抑塵蓋與所述外殼可拆卸連接，并位于所述出料口處，所述成品盒與所述抑塵蓋可拆卸連接，并位于遠離所述外殼的一側。

7.如權利要求6所述的一種應用于極紫外設備的吸氣劑制備裝置，其特征在于，所述應用于極紫外設備的吸氣劑制備裝置還包括密封圈，所述密封圈與所述抑塵蓋固定連接，并位于所述抑塵蓋與所述外殼之間。