[發明專利]一種檢測設備和單晶爐

在審

• 申請號: 202110256410.2
• 申請日: 2021-03-09
• 公開（公告）號: CN113049022A
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 王富龍
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉設備技術有限公司;西安奕斯偉材料技術有限公司
• 主分類號: G01D21/00
• 分類號: G01D21/00;C30B15/00;C30B29/06;G08C19/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 黃燦;顧春天

1.一種檢測設備，應用于單晶爐，其特征在于，所述單晶爐包括爐體、密封所述爐體的密封件以及設置于所述爐體上的提拉軟軸，所述提拉軟軸的材料包括金屬材料，所述提拉軟軸與所述爐體之間密封且絕緣設置，且所述提拉軟軸的一端延伸至所述爐體內部，另一端位于所述爐體的外側；

所述檢測設備包括相互連接的執行模塊、通信模塊和電源模塊，所述通信模塊與所述提拉軟軸電連接，且所述提拉軟軸用于為所述通信模塊傳輸信號。

2.根據權利要求1所述的檢測設備，其特征在于，還包括第一接頭，所述第一接頭設置于所述爐體內，所述第一接頭與所述提拉軟軸電連接，所述通信模塊包括第二接頭，所述第二接頭與所述第一接頭相匹配，以在所述第一接頭和所述第二接頭相連時，所述通信模塊與所述提拉軟軸電連接。

3.根據權利要求2所述的檢測設備，其特征在于，所述第一接頭包括用于與所述第二接頭相連的連接部以及用于與所述提拉軟軸相連的固定部，所述固定部呈環形，且環繞所述提拉軟軸設置。

4.根據權利要求3所述的檢測設備，其特征在于，還包括用于固定所述提拉軟軸的固定組件，所述固定組件的材料包括絕緣材料，且所述固定組件分別與所述提拉軟軸和所述爐體的內壁相連。

5.根據權利要求3所述的檢測設備，其特征在于，所述檢測設備包括連接件，所述檢測設備通過所述連接件吊設于所述提拉軟軸位于所述爐體內部的一端。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的檢測設備，其特征在于，所述檢測設備包括殼體，所述通信模塊和所述電源模塊密封于所述殼體內，所述執行模塊的部分或全部密封于所述殼體內。

7.根據權利要求1所述的檢測設備，其特征在于，還包括控制器，所述控制器與所述提拉軟軸通過數據線通信連接。

8.根據權利要求1所述的檢測設備，其特征在于，所述通信模塊為無線通訊模塊，所述提拉軟軸復用為所述無線通訊模塊的通訊天線。

9.根據權利要求8所述的檢測設備，其特征在于，還包括信號放大器，所述信號放大器用于放大所述無線通訊模塊通過所述提拉軟軸傳輸的信號，所述信號放大器設置于所述爐體的外側，且所述信號放大器與所述提拉軟軸電連接。

10.一種單晶爐，其特征在于，包括爐體、密封所述爐體的密封件以及設置于所述爐體上的提拉軟軸，所述提拉軟軸的材料包括金屬材料，所述提拉軟軸與所述爐體之間密封且絕緣設置，且所述提拉軟軸的一端延伸至所述爐體內部，另一端位于所述爐體的外側，所述單晶爐還包括權利要求1至9中任一項所述的檢測設備，所述檢測設備的通信模塊與所述提拉軟軸電連接，且所述提拉軟軸用于為所述通信模塊傳輸信號。