[發(fā)明專利]金屬掩膜版切割防護設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110255638.X
• 申請日: 2021-03-09
• 公開（公告）號: CN113024098B
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發(fā)明（設計）人: 錢超;楊柯;牛恩眾;余強根
• 申請（專利權）人: 常州高光半導體材料有限公司
• 主分類號: B23Q11/08
• 分類號: B23Q11/08
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 薛伯奇

1.金屬掩膜版切割防護設備，包括第一伺服電機（1），其特征在于：所述第一伺服電機（1）的輸出軸上固定套接有驅動盤（2），所述驅動盤（2）正面的邊緣處固定連接有驅動柱（3），所述驅動柱（3）的外表面活動套接有驅動套桿（4）的一端，所述驅動套桿（4）的另一端活動套接有驅動塊（5），所述驅動塊（5）的頂部固定連接有動力桿（6），所述動力桿（6）的右端固定連接有固定塊（7），所述固定塊（7）的內腔中活動套接有旋轉短柱，所述固定塊（7）內腔中活動套接的旋轉短柱外表面活動套接有運輸塊（8），所述運輸塊（8）的正上方設置有盛放箱（9），所述盛放箱（9）的下端開設有與運輸塊（8）相適配的活動槽，所述盛放箱（9）的右側下方開設有與掩膜版相適配的輸出槽，所述盛放箱（9）的右側活動連接有防護機箱（10），所述防護機箱（10）的內腔中開設有與盛放箱（9）上開設的輸出槽相適配的運輸槽；

所述防護機箱（10）的內腔中開設有固定槽，所述防護機箱（10）內腔中開設的固定槽中固定連接有限位套管（11），所述限位套管（11）的內腔中固定連接有限位彈簧（12）的一端，所述限位彈簧（12）的另一端固定連接有限位柱（13），所述限位柱（13）的左端活動套接有弧形限位塊，所述弧形限位塊的右側為豎直形，所述弧形限位塊與限位柱（13）只有向下單方向活動套接；

所述限位柱（13）的正下方設置有第一液壓伸縮桿（27），所述第一液壓伸縮桿（27）的輸出軸上活動套接有驅動臂（14），所述驅動臂（14）的頂部固定套接有夾持臂（15），所述驅動臂（14）的內側活動套接有驅動環(huán)（16），所述驅動臂（14）的形狀為F形，所述驅動臂（14）內側的支臂活動套接在驅動環(huán)（16）上，所述驅動環(huán)（16）的內腔中活動套接有切割臺（17）；

所述切割臺（17）的右側固定連接有運輸軌道（18），所述運輸軌道（18）的后側設置有第二伺服電機（19），所述第二伺服電機（19）的輸出軸上固定套接有撥動桿（20），所述撥動桿（20）的左下設置有第二液壓伸縮桿（21），所述第二液壓伸縮桿（21）的輸出軸上固定連接有承載臺（22），所述承載臺（22）的正上方設置有升降套管（23），所述升降套管（23）的內腔中活動套接有棘輪（24），所述棘輪（24）的外表面活動套接有卡爪（25），所述升降套管（23）的內腔中活動套接有限位桿（26）。

2.根據權利要求1所述的金屬掩膜版切割防護設備，其特征在于：所述驅動套桿（4）的下端開設有驅動槽，所述驅動柱（3）活動套接在驅動套桿（4）下端開設驅動槽中，所述驅動套桿（4）下端開設的驅動槽四邊為弧形。

3.根據權利要求1所述的金屬掩膜版切割防護設備，其特征在于：所述驅動套桿（4）正面的上端開設有圓形柱，所述驅動塊（5）的中部開設有與驅動套桿（4）正面上端開設的圓形柱相適配的矩形槽孔。

4.根據權利要求1所述的金屬掩膜版切割防護設備，其特征在于：所述運輸塊（8）的形狀為L形，所述運輸塊（8）向內凹陷的一側朝向左邊。

5.根據權利要求1所述的金屬掩膜版切割防護設備，其特征在于：所述運輸軌道（18）的形狀為弧形，所述運輸軌道（18）的寬度與切割臺（17）的寬度相等。

6.根據權利要求1所述的金屬掩膜版切割防護設備，其特征在于：所述卡爪（25）的上表面為平整的矩形，所述卡爪（25）上表面向內的一側開設有固定槽口。

7.根據權利要求1所述的金屬掩膜版切割防護設備，其特征在于：所述限位桿（26）活動套接在升降套管（23）的內腔中，所述限位桿（26）位于卡爪（25）向外一側的正上方。