[發(fā)明專利]鰭片高度的確定方法、裝置、系統(tǒng)、設(shè)備以及介質(zhì)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110254915.5
• 申請日: 2021-03-09
• 公開（公告）號: CN113066734B
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王健;毛宏坤;李承啟;楊一鳴
• 申請（專利權(quán)）人: 普迪飛半導體技術(shù)（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G01B7/06;G01R27/08
• 代理公司: 上海慧晗知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31343
• 代理人: 李茂林;徐海晟

1.一種鰭片高度的確定方法，其特征在于，包括：

獲取第一柵極結(jié)構(gòu)的第一電阻信息，以及第二柵極結(jié)構(gòu)的第二電阻信息，所述第一柵極結(jié)構(gòu)設(shè)于對應(yīng)的隔離層與鰭片上，所述第二柵極結(jié)構(gòu)設(shè)于對應(yīng)的隔離層上；所述第一柵極結(jié)構(gòu)與所述第二柵極結(jié)構(gòu)的電阻率均為目標電阻率，且所述第一柵極結(jié)構(gòu)與所述第二柵極結(jié)構(gòu)相對于對應(yīng)隔離層的高度相同；

根據(jù)所述第一電阻信息與所述第二電阻信息，確定所述第一柵極結(jié)構(gòu)中鰭片的高度；

其中，所述第一柵極結(jié)構(gòu)包括所述鰭片上的第一柵極部分與所述隔離層上的第二柵極部分；

根據(jù)所述第一電阻信息與所述第二電阻信息，確定所述第一柵極結(jié)構(gòu)中鰭片的高度，包括：

根據(jù)所述第一電阻信息、所述第二電阻信息、所述目標電阻率，以及已知尺寸信息，確定所述第一柵極結(jié)構(gòu)中鰭片的高度，所述已知尺寸信息表征了：所述第一柵極部分的長度與寬度，所述第二柵極部分的長度與寬度，以及所述第二柵極結(jié)構(gòu)的長度與寬度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鰭片高度的確定方法，其特征在于，根據(jù)所述第一電阻信息、所述第二電阻信息、所述目標電阻率，以及柵極已知尺寸，確定所述第一柵極結(jié)構(gòu)中鰭片的高度，包括：

根據(jù)所述第一電阻信息、所述第二電阻信息，以及所述已知尺寸信息，確定所述第一柵極部分的方阻；

根據(jù)所述第二電阻信息，以及所述第二柵極結(jié)構(gòu)的長度與寬度，確定所述第二柵極部分的方阻；

根據(jù)所述第一柵極部分的方阻與所述第二柵極部分的方阻，以及所述目標電阻率，確定所述第一柵極結(jié)構(gòu)中鰭片的高度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鰭片高度的確定方法，其特征在于，所述第二柵極部分的方阻是根據(jù)以下公式確定的：

式中，

R_b表征了所述第二電阻信息；

R₂表征了所述第二柵極部分的方阻；

W_b表征了所述第二柵極結(jié)構(gòu)的寬度；

CD_b表征了所述第二柵極結(jié)構(gòu)的長度。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鰭片高度的確定方法，其特征在于，所述第一柵極結(jié)構(gòu)包括N個鰭片，其中N≥1，其中N≥1；

沿所述第一柵極結(jié)構(gòu)的寬度方向的第一個鰭片與第一測試點之間的距離為第一寬度，沿所述第一柵極結(jié)構(gòu)的寬度方向的第N個鰭片與第二測試點之間的距離也為所述第一寬度；

所述鰭片的寬度為第二寬度，任意兩個相鄰鰭片沿所述第一柵極結(jié)構(gòu)的寬度方向的間距也為第二寬度；

所述第一柵極部分的長度、第二柵極部分的長度以及第二柵極結(jié)構(gòu)的長度均為目標長度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鰭片高度的確定方法，其特征在于，所述第一柵極部分的方阻是根據(jù)以下公式確定的：

式中：

CD表征了所述目標長度；

R_a表征了所述第一電阻信息；

R_b表征了所述第二電阻信息；

R₁表示所述第一柵極部分的方阻；

W₁表征了所述第一寬度；

W₂表征了所述第二寬度。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鰭片高度的確定方法，其特征在于，根據(jù)所述第一柵極部分的方阻與所述第二柵極部分的方阻，以及所述目標電阻率，

確定所述第一柵極結(jié)構(gòu)中鰭片的高度，包括；

根據(jù)所述第一柵極部分的方阻與所述目標電阻率，確定所述第一柵極部分的高度；

根據(jù)所述第二柵極部分的方阻與所述目標電阻率，確定所述第二柵極部分的高度；

根據(jù)所述第一柵極部分的高度與所述第二柵極部分的高度，確定所述第一柵極結(jié)構(gòu)中鰭片的高度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鰭片高度的確定方法，其特征在于，所述第一柵極部分的高度是根據(jù)以下公式確定的：

式中：

ρ表征了所述目標電阻率；

h₁表征了所述第一柵極部分的高度。