[發(fā)明專(zhuān)利]用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑及其制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110251259.3
• 申請(qǐng)日: 2021-03-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113024118A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李玉峰;牛國(guó)強(qiáng);林怡璇;李明雨
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）
• 主分類(lèi)號(hào): C03C8/24
• 分類(lèi)號(hào): C03C8/24;C03C12/00;H01B1/22;H01L23/15
• 代理公司: 深圳市添源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44451
• 代理人: 黎健任

1.一種用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑，其特征在于：其組分及其摩爾百分比為：鉍化合物10-55%，硼化合物15-50%，鋅化合物10-40%。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑，其特征在于：其組分及其摩爾百分比為：鉍化合物15-46.7%，硼化合物33.3-50%，鋅化合物20-35%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑，其特征在于：所述鉍化合物為Bi₂O₃，所述硼化合物為B₂O₃、H₃BO₃中的至少一種，所述鋅化合物為ZnO。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑，其特征在于：其粒徑為1-2μm。

5.一種如權(quán)利要求1~4任意一項(xiàng)所述的用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑的制備方法，其特征在于，其包括如下步驟：

步驟S1，按照比例稱(chēng)量各原料，將原料進(jìn)行初步混合，加入溶劑進(jìn)行混合；

步驟S2，將混合后的溶液烘干，然后研磨得到原料混合粉末；

步驟S3，將原料混合粉末進(jìn)行加熱熔融成玻璃液，倒入去離子水中水淬，獲得玻璃顆粒；

步驟S4，將玻璃顆粒壓碎，然后球磨，得到用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑粉末。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑的制備方法，其特征在于：步驟S1中，加入溶劑后，先采用超聲震蕩混合，再用磁力攪拌混合。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑的制備方法，其特征在于：步驟S3中，加熱熔融的溫度為1250-1350℃，升溫速度為5~15℃/min，步驟S1中，溶劑為乙醇。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑的制備方法，其特征在于：步驟S4中，球磨的速度為200~400r/min，時(shí)間為150~250min。

9.一種厚膜銀漿，其特征在于：其包含的組分及其質(zhì)量百分比為：銀粉70-90%，玻璃粘接劑5-15%，有機(jī)載體5-15%；其中，所述玻璃粘接劑采用如權(quán)利要求1~4任意一項(xiàng)所述的用于氮化硅基板厚膜金屬化的玻璃粘結(jié)劑。