[發明專利]一種半導體材料載流子濃度的檢測方法在審
| 申請號： | 202110250914.3 | 申請日： | 2021-03-08 |
| 公開（公告）號： | CN113030188A | 公開（公告）日： | 2021-06-25 |
| 發明（設計）人： | 朱景程;劉日;王景峰;孫磊 | 申請（專利權）人： | 內蒙古工業大學 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 湖南楚墨知識產權代理有限公司 43268 | 代理人： | 麥振聲 |
| 地址： | 010051 內蒙古*** | 國省代碼： | 內蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體材料 載流子 濃度 檢測 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種半導體材料載流子濃度的檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1：首先在實驗室內部搭建電光效應試驗儀器，再將需要檢測的半導體材料置于電光效應試驗儀的檢測筒處，并與檢測筒的正負電極接口對應；
S2：選擇可調節電容大小的平行板電容器，安裝在檢測筒處的內部，并使得半導體材料位于平行板電容器之間；
S3：選擇兩段式的送風管道，并將電加熱絲置于兩段送風管道的一端處，通過管道連接結構連接兩段式送風管道；
S4：緊接著將其中一個送風管道連接鼓風機，其中另一個送風管道與檢測筒的進風口連接，使得送風管道的出風能夠對準半導體材料；
S5：將溫度傳感器安裝到檢測筒邊角處，并使得的溫度傳感器的感應端與半導體材料表面接觸，通過對接電路線路，使得電加熱絲能夠根據溫度傳感器溫度數值的變化而調整功率大小，鼓風機也相應的調節轉速快慢；
S6：將導線的一端與電光效應試驗儀器的檢測儀連接，導線的另一端與檢測筒的正負電極接口，形成完整的電路，測量半導體材料載流子濃度即可。
2.根據權利要求1所述的一種半導體材料載流子濃度的檢測方法，其特征在于：所述步驟S3中，兩段式送風管道的外表面包裹有保溫層。
3.根據權利要求1所述的一種半導體材料載流子濃度的檢測方法，其特征在于：所述步驟S1中，半導體材料為圓柱體結構。
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