[發明專利]檢測方法、檢測系統及非易失性計算機可讀存儲介質

在審

• 申請號: 202110248666.9
• 申請日: 2021-03-08
• 公開（公告）號: CN113030107A
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 陳魯;吳漢權;李青格樂;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 邵泳城

1.一種檢測方法，其特征在于，包括：

獲取工件的待測區的不同位置的第一高度分布信息，所述工件放置在承載裝置上；

根據所述第一高度分布信息獲取第二高度分布信息，所述第二高度分布信息的高度發生突變的節點數小于所述第一高度分布信息的高度發生突變的節點數；及

控制驅動件根據所述第二高度分布信息驅動所述承載裝置沿高度方向運動，以帶動所述工件在高度方向上運動。

2.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述工件由圖像采集裝置檢測，所述控制驅動件根據所述第二高度分布信息驅動所述承載裝置沿高度方向運動，包括：

控制所述驅動件根據所述第二高度分布信息驅動所述承載裝置沿高度方向運動時，所述圖像采集裝置的視場范圍內的工件，均位于所述圖像采集裝置的景深范圍內。

3.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述第一高度分布信息包括第一高度曲線，所述獲取工件的待測區的不同位置的第一高度分布信息，包括：

采用定高檢測裝置測量所述待測區的不同位置相對參考位置的多個距離；

以相同基準繪制每個所述距離對應的擬合點；及

連接多個所述擬合點以得到所述第一高度曲線。

4.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述第一高度分布信息包括具有多個第一臺階的第一高度曲線，所述根據所述第一高度分布信息獲取第二高度分布信息，包括：

根據所述第一高度曲線中的多個第一臺階兩兩之間的高度差，擬合形成多個第二臺階；

連接多個所述第二臺階以形成第二高度曲線，并將所述第二高度曲線作為所述第二高度分布信息。

5.根據權利要求4所述的檢測方法，其特征在于，所述根據所述第一高度曲線中的多個第一臺階兩兩之間的高度差，擬合形成多個第二臺階，包括：

比較步驟：以第i個第一臺階為起點，第m個第一臺階為終點，逐一比較高度區間寬度與預設距離的大小，其中，所述高度區間寬度為第i個第一臺階至第m個第一臺階的所有第一臺階所在高度區間的寬度，m＞i≥1，i及m為正整數；

獲取步驟：在比較得出第i個第一臺階與第n個第一臺階的高度區間寬度大于所述預設距離時，獲取第i個第一臺階至第n-1個第一臺階的所有第一臺階所在高度區間的平均高度，n＞i≥1，n為正整數；

擬合步驟：將第i個第一臺階至第n-1個第一臺階的所有第一臺階，以所述平均高度作為擬合高度形成一個第二臺階；及

以所述第n個第一臺階作為起點，循環執行所述比較步驟、所述獲取步驟及所述擬合步驟，直至擬合完所有第一臺階，以形成多個第二臺階。

6.根據權利要求5所述的檢測方法，其特征在于，

所述預設距離為圖像采集裝置的景深的預設比例，其中，所述圖像采集裝置用于檢測所述工件。

7.一種檢測系統，其特征在于，包括：

承載裝置，所述承載裝置用于承載工件；

驅動件，所述驅動件用于驅動所述承載裝置沿高度方向運動；及

一個或多個處理器，一個或多個所述處理器用于：獲取所述工件的待測區的不同位置的第一高度分布信息；根據所述第一高度分布信息獲取第二高度分布信息，所述第二高度分布信息的高度發生突變的節點數小于所述第一高度分布信息的高度發生突變的節點數；及控制所述驅動件根據所述第二高度分布信息驅動所述承載裝置沿高度方向運動，以帶動所述工件在高度方向上運動。

8.根據權利要求7所述的檢測系統，其特征在于，所述檢測系統還包括圖像采集裝置，所述圖像采集裝置用于檢測所述工件，一個或多個所述處理器用于控制所述驅動件根據所述第二高度分布信息驅動所述承載裝置沿高度方向運動時，所述圖像采集裝置的視場范圍內的工件，均位于所述圖像采集裝置的景深范圍內。