[發明專利]檢測方法、檢測系統及非易失性計算機可讀存儲介質

有效

• 申請號: 202110248608.6
• 申請日: 2021-03-08
• 公開（公告）號: CN112595245B
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 陳魯;吳漢權;李青格樂;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 邵泳城

1.一種檢測方法，其特征在于，包括：

獲取工件的待測區的不同位置的高度分布信息，所述工件放置在承載裝置上；

根據所述高度分布信息獲取工件的響應曲線，驅動件用于驅動所述承載裝置沿高度方向運動，所述響應曲線上，延伸方向發生突變的相鄰節點的最小時間差大于或等于所述驅動件的響應周期，所述響應曲線的延伸方向發生突變的節點指所述響應曲線上不連續的節點；及

控制所述驅動件根據所述響應曲線驅動所述承載裝置運動；

所述高度分布信息包括具有多個臺階的高度曲線，所述根據所述高度分布信息獲取驅動件的響應曲線，包括：

根據所述高度曲線上沿預定方向連續多個臺階的高度分布，得到多個擬合線；及

根據多個所述擬合線獲取所述響應曲線。

2.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述工件由圖像采集裝置檢測，所述響應曲線滿足條件：

控制所述驅動件根據所述響應曲線驅動所述承載裝置運動時，所述圖像采集裝置的視場范圍內的工件，均位于所述圖像采集裝置的景深范圍內。

3.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述高度分布信息包括高度曲線，所述獲取工件的待測區的不同位置的高度分布信息，包括：

采用定高檢測裝置測量所述待測區的不同位置相對參考位置的多個距離；

以相同基準繪制每個所述距離對應的擬合點；及

連接多個所述擬合點以得到所述高度曲線。

4.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，根據所述高度曲線上沿預定方向連續多個臺階的高度分布，得到多個擬合線，包括：

比較步驟：比較多條線段中，每條線段上的任意點到線段跨越的任一臺階之間的垂直距離，是否大于預設距離，其中，多條線段均以第i個臺階上的預定點為起點，分別以第i個臺階之后的臺階上的預定點為終點形成，i≥1，i為正整數；

擬合步驟：在線段上至少一點到線段跨越的第i個臺階至第j個臺階中任一臺階的垂直距離大于所述預設距離時，對第i個臺階至第j-1個臺階上的所有預定點進行擬合得到一個擬合線，其中，j＞i，j為正整數；及

以所述第j-1個臺階上的預定點為起點，循環執行所述比較步驟及所述擬合步驟，直至擬合完所有臺階上的預定點，以得到多個擬合線。

5.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述高度分布信息包括高度數值的集合，所述獲取工件的待測區的不同位置的高度分布信息，包括：

采用定高檢測裝置測量所述待測區的不同位置相對參考位置的多個距離，將多個所述距離作為集合以得到所述高度分布信息。

6.根據權利要求5所述的檢測方法，其特征在于，所述根據所述高度分布信息獲取工件的響應曲線，包括：

計算步驟：依次計算集合內第i個數值與后面的其他數值之間的差值；

比較步驟：在每次計算出一個差值后，比較所述差值的絕對值是否大于預設距離；

擬合步驟：在第i個數值與第j個數值之間的差值的絕對值大于所述預設距離時，以相同基準繪制第i個數值至第j-1個數值對應的繪制點，并連接多個所述繪制點以得到擬合線，其中，j＞i≥1，i及j為正整數；

以所述第j-1個數值為計算基礎循環執行所述計算步驟、所述比較步驟、及所述擬合步驟直至擬合完集合內所有數值對應的繪制點，以得到多個擬合線；及

根據多條所述擬合線獲取所述響應曲線。

7.根據權利要求4或6所述的檢測方法，其特征在于，

所述預設距離為圖像采集裝置的景深的預設比例，其中，所述圖像采集裝置用于檢測所述工件。

8.根據權利要求4或6所述的檢測方法，其特征在于，所述擬合線包括擬合線段，和/或擬合曲線。