[發明專利]被檢測體的平坦度測量裝置

在審

• 申請號: 202110244239.3
• 申請日: 2021-03-05
• 公開（公告）號: CN113358039A
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 林用賱
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01B11/30
• 代理公司: 北京金宏來專利代理事務所(特殊普通合伙) 11641
• 代理人: 樸英淑

1.一種被檢測體的平坦度測量裝置，包括：

激光光源，配置在所述被檢測體的上部并且產生具有從所述被檢測體能夠被反射的波長的激光；

標準具干涉儀，配置在所述被檢測體與所述激光光源之間，并且將所述激光變換成照射到所述被檢測體的激光陣列；以及

分析部，配置在所述被檢測體的上部，并且利用從所述被檢測體反射的激光陣列來測量所述被檢測體的平坦度。

2.根據權利要求1所述的被檢測體的平坦度測量裝置，其中，

所述激光光源配置在第一垂直方向以及第二垂直方向上并沿著所述第二垂直方向產生所述激光，其中，所述第一垂直方向垂直地經過所述被檢測體，并且所述第二垂直方向在平面上的其他位置處與所述第一垂直方向平行。

3.根據權利要求2所述的被檢測體的平坦度測量裝置，還包括：

分束器，配置在所述標準具干涉儀與所述被檢測體之間，并且將所述激光陣列從所述第二垂直方向引導到所述第一垂直方向。

4.根據權利要求2所述的被檢測體的平坦度測量裝置，其中，

所述分析部位于所述第一垂直方向上。

5.根據權利要求2所述的被檢測體的平坦度測量裝置，還包括：

濾波器，配置在所述激光光源與所述標準具干涉儀之間，并且對所述激光進行濾波。

6.根據權利要求1所述的被檢測體的平坦度測量裝置，其中，

所述激光光源配置在沿著第一方向與所述被檢測體的表面傾斜的位置處，并且所述分析部配置在沿著與所述第一方向相反的第二方向傾斜的位置處。

7.根據權利要求1所述的被檢測體的平坦度測量裝置，其中，

所述分析部利用從所述被檢測體反射的所述激光陣列來測量與所述被檢測體的各個位置對應的反射率，并且從所述反射率獲得與所述被檢測體的各個位置對應的厚度。

8.根據權利要求7所述的被檢測體的平坦度測量裝置，其中，

所述分析部利用從所述被檢測體反射的所述激光陣列來測量所述被檢測體的變形引起的與所述被檢測體的各個位置對應的應力。

9.根據權利要求8所述的被檢測體的平坦度測量裝置，其中，

所述分析部比較與所述被檢測體的各個位置對應的應力和與基準被檢測體的各個位置對應的應力，從而獲得與所述被檢測體的各個位置對應的實際應力。

10.根據權利要求1所述的被檢測體的平坦度測量裝置，其中，

所述分析部包括：光學傳感器，接收從所述被檢測體反射的所述激光陣列。