[發明專利]氣體感測材料與氣體傳感器在審
| 申請號： | 202110243720.0 | 申請日： | 2021-03-05 |
| 公開（公告）號： | CN113495089A | 公開（公告）日： | 2021-10-12 |
| 發明（設計）人： | 黃柏愷;蔡明志;簡志軒 | 申請（專利權）人： | 新唐科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12;G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 王濤;任默聞 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 材料 傳感器 | ||
1.一種氣體感測材料，其特征在于，包括：
一n型MoOx基體，0x3；以及
多個p型MoNyOz突起物，分布在所述n型MoOx基體的表面，其中0.01y2且0.01z2。
2.根據權利要求1所述的氣體感測材料，其特征在于，所述氣體感測材料為線型結構、棒狀結構和一維結構中的一種。
3.根據權利要求1所述的氣體感測材料，其特征在于，所述氣體感測材料的載體長度在1μm～50μm之間。
4.根據權利要求1所述的氣體感測材料，其特征在于，所述多個p型MoNyOz突起物均勻分布在所述n型MoOx基體的整個所述表面。
5.根據權利要求1所述的氣體感測材料，其特征在于，所述多個p型MoNyOz突起物在所述n型MoOx基體的表面上的分布密度是2個/μm2～200個/μm2。
6.根據權利要求1所述的氣體感測材料，其特征在于，所述多個p型MoNyOz突起物在所述n型MoOx基體的表面上的平均粒徑是1nm～10nm。
7.一種氣體傳感器，其特征在于，包括：
第一電極；
第二電極，與所述第一電極相隔一距離；以及
至少一感測結構，介于所述第一電極與所述第二電極之間，并與所述第一電極與所述第二電極直接接觸，其中所述感測結構是由多個如權利要求1至6中任一項所述的氣體感測材料組成。
8.根據權利要求7所述的氣體傳感器，其特征在于，所述第一電極與所述第二電極之間的所述距離在1μm～1000μm之間。
9.根據權利要求7所述的氣體傳感器，其特征在于，所述第一電極與所述第二電極包括指叉狀電極。
10.根據權利要求7所述的氣體傳感器，其特征在于，所述氣體傳感器包括電阻式傳感器或電容式傳感器。
11.根據權利要求7所述的氣體傳感器，其特征在于，所述氣體傳感器的操作溫度為室溫。
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