[發明專利]橫向激勵剪切模式的聲學諧振器

在審

• 申請號: 202110239484.5
• 申請日: 2021-03-04
• 公開（公告）號: CN112910433A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 龔頌斌;呂若辰
• 申請（專利權）人: 偲百創（深圳）科技有限公司
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 虞凌霄

1.一種橫向激勵剪切模式的聲學諧振器，其特征在于，包括：

聲學鏡，包括至少一第一聲反射層和至少一第二聲反射層，各所述第一聲反射層的聲阻抗小于各所述第二聲反射層的聲阻抗；

壓電層，設于所述聲學鏡上，所述壓電層包括單晶材料的鈮酸鋰和/或單晶材料的鉭酸鋰；

電極單元，設于所述壓電層上，用于形成電場；

橫向反射器，設于所述壓電層上，包括位于所述電極單元的第一側的第一反射器和位于所述電極單元的第二側的第二反射器，所述第一側和第二側為相對側，所述橫向反射器用于對聲波進行橫向反射。

2.根據權利要求1所述的橫向激勵剪切模式的聲學諧振器，其特征在于，所述電極單元用于形成主要平行于所述壓電層的電場，并用于在整個壓電層的厚度上產生剪切模式的機械波。

3.根據權利要求1所述的橫向激勵剪切模式的聲學諧振器，其特征在于，離所述壓電層越遠的第一聲反射層的厚度越厚；離所述壓電層越遠的第二聲反射層的厚度越厚。

4.根據權利要求1所述的橫向激勵剪切模式的聲學諧振器，其特征在于，所述聲學鏡包括三層第一聲反射層和兩層第二聲反射層，且聲學鏡中第一聲反射層和第二聲反射層交替設置。

5.根據權利要求1所述的橫向激勵剪切模式的聲學諧振器，其特征在于，所述第一聲反射層的材質包括二氧化硅、鋁、苯并環丁烯、聚酰亞胺和自旋玻璃中的至少一種，所述第二聲反射層的材質包括鉬、鎢、鈦、鉑、氮化鋁、氧化鎢和氮化硅中的至少一種。

6.根據權利要求1所述的橫向激勵剪切模式的聲學諧振器，其特征在于，所述電極單元包括第一公共電極、第二公共電極、多條第一叉指電極及多條第二叉指電極，各所述第一叉指電極與所述第一公共電極電性連接，各所述第二叉指電極與所述第二公共電極電性連接，且各第一叉指電極與各第二叉指電極之間絕緣設置，所述第一公共電極用于接入輸入電壓，所述第二公共電極用于接地。

7.根據權利要求6所述的橫向激勵剪切模式的聲學諧振器，其特征在于，所述電極單元的兩側的橫向反射器之間的連線方向為聲波的傳播方向；所述聲學鏡的各第一聲反射層和各第二聲反射層在第一方向上的兩側邊緣對齊，且所述第一方向在平面上垂直于所述連線方向，所述平面垂直于諧振器的高度方向；各所述第一叉指電極的第一端連接所述第一公共電極，各所述第二叉指電極的第一端連接所述第二公共電極，各所述第一叉指電極的第一端的邊緣在所述聲學鏡上的正投影與所述聲學鏡在所述第一方向上的第一側邊緣對齊，各所述第二叉指電極的第一端的邊緣在所述聲學鏡上的正投影與所述聲學鏡在所述第一方向上的第二側邊緣對齊。

8.根據權利要求6所述的橫向激勵剪切模式的聲學諧振器，其特征在于，所述第一反射器和第二反射器均包括至少一條電極條，所述第一反射器中距離所述電極單元最近的一條電極條的中心與所述電極單元的第一側邊緣的叉指電極的中心的距離為1/8至2個所述聲波的波長，所述第二反射器中距離所述電極單元最近的一條電極條的中心與所述電極單元的第二側邊緣的叉指電極的中心的距離為1/8至2個聲波波長。

9.根據權利要求6所述的橫向激勵剪切模式的聲學諧振器，其特征在于，還包括設于所述第一公共電極上的第一金屬件和第二公共電極上的第二金屬件，所述第一金屬件和第二金屬件的厚度大于所述電極單元的厚度，所述第一金屬件和第二金屬件用于在第一方向上進行聲學反射，所述第一方向垂直于所述聲波的傳播方向。

10.根據權利要求1所述的橫向激勵剪切模式的聲學諧振器，其特征在于，所述電極單元與橫向反射器的材質相同且為金屬和/或合金。