[發明專利]溫度傳感器和溫度測量裝置及溫度測量方法在審
| 申請號： | 202110239155.0 | 申請日： | 2021-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN113390526A | 公開（公告）日： | 2021-09-14 |
| 發明（設計）人： | 中川西學 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | G01K7/18 | 分類號： | G01K7/18;G01K1/00 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;張會華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 溫度傳感器 溫度 測量 裝置 測量方法 | ||
本發明提供這樣的溫度傳感器和溫度測量裝置及溫度測量方法，即，在利用溫度傳感器測量極低溫的被測量體的溫度時，能夠抑制將構成溫度傳感器的電阻體和熱錨部連接起來的引線斷線。一種溫度傳感器，其安裝于極低溫的被測量體，借助引線將測量溫度數據向測量溫度輸出部發送，該溫度傳感器具有：收納體；電阻體，其位于所述收納體的內部；以及熱錨部，其位于所述收納體的內部或外部，利用所述引線連接，從所述熱錨部延伸配置的所述引線與所述測量溫度輸出部相連接。
技術領域
本公開涉及溫度傳感器和溫度測量裝置及溫度測量方法。
背景技術
在專利文獻1中公開了一種極低溫裝置，該極低溫裝置設為，在極低溫部配設有由電阻體構成的溫度測量元件，并且將測量線從溫度測量元件引導至室溫部，在室溫部測量極低溫部的溫度。該極低溫裝置具有：第1熱錨，其與溫度測量元件相連接，安裝于預定的安裝部；第2熱錨，其與第1熱錨相連接，安裝于預定的安裝部；以及測量線，其從第2熱錨被引導至室溫部。而且，以使第1熱錨與極低溫部之間的溫度差成為第2熱錨與極低溫部之間的溫度差的1/10的方式設定第1熱錨、第2熱錨的各安裝部。
專利文獻1：日本特開平1－110227號公報
發明內容
本公開提供如下的溫度傳感器和溫度測量裝置及溫度測量方法，即，在利用溫度傳感器測量極低溫的被測量體的溫度時，能夠抑制將構成溫度傳感器的電阻體和熱錨部連接起來的引線斷線。
本公開的一技術方案的溫度傳感器安裝于極低溫的被測量體，借助引線將測量溫度數據向測量溫度輸出部發送，其中，
該溫度傳感器具有：
收納體；
電阻體，其位于所述收納體的內部；以及
熱錨部，其位于所述收納體的內部或外部，利用所述引線連接，
從所述熱錨部延伸配置的所述引線與所述測量溫度輸出部相連接。
根據本公開，在利用溫度傳感器測量極低溫的被測量體的溫度時，能夠抑制將構成溫度傳感器的電阻體和熱錨部連接起來的引線斷線。
附圖說明
圖1是表示具有作為被測量體的一個例子的冷凍裝置的基板處理裝置的縱剖視圖。
圖2是表示構成基板處理裝置并具有測量溫度輸出部的控制裝置的硬件結構的一個例子以及外圍設備的圖。
圖3是表示第1實施方式的溫度傳感器的一個例子的縱剖視圖。
圖4是表示第2實施方式的溫度傳感器的一個例子的縱剖視圖。
圖5是表示第1實施方式的溫度測量裝置的一個例子的示意圖。
圖6是表示第2實施方式的溫度測量裝置的一個例子的示意圖。
具體實施方式
以下參照附圖來說明本公開的實施方式的溫度傳感器和溫度測量裝置及溫度測量方法。另外，在本說明書和附圖中，對于實質上相同的構成要素，有時通過標注相同的附圖標記來省略重復的說明。
[作為被測量體的基板處理裝置]
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