[發明專利]一種基于表面親疏水微結構的涂布機刮刀

有效

• 申請號: 202110238389.3
• 申請日: 2021-03-04
• 公開（公告）號: CN113102193B
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發明（設計）人: 胡笑添;陳義旺;王洪宇;孟祥川
• 申請（專利權）人: 南昌大學
• 主分類號: B05C11/04
• 分類號: B05C11/04
• 代理公司: 南昌朗科知識產權代理事務所(普通合伙) 36134
• 代理人: 郭毅力;郭顯文

1.一種基于表面親疏水微結構設計的涂布機刮刀，其特征是由親水層與疏水層相間隔橫向均勻分布的條形溝槽微結構構成。

2.根據權利要求1所述的一種基于表面親疏水微結構設計的涂布機刮刀，其特征是所述的親水層由作為刮刀基底的硅片基底經親水性處理形成。

3.根據權利要求1所述的一種基于表面親疏水微結構設計的涂布機刮刀，其特征是所述的疏水層由旋涂在刮刀基底上的疏水性材料形成。

4.根據權利要求2所述的一種基于表面親疏水微結構設計的涂布機刮刀，其特征是所述的刮刀基底為單晶硅或一氧化硅。

5.根據權利要求3所述的一種基于表面親疏水微結構設計的涂布機刮刀，其特征是所述的疏水層為微米級超薄疏水層，其材質為全氟聚合物、環氧樹脂、硅氧烷或氟硅烷。

6.根據權利要求5所述的一種基于表面親疏水微結構設計的涂布機刮刀，其特征是所述的全氟聚合物為聚四氟乙烯、聚全氟乙丙烯或全氟磺酰樹脂。

7.根據權利要求1所述的一種基于表面親疏水微結構設計的涂布機刮刀，其特征是所述的條形溝槽微結構的中間隔寬度為0.5μm~50μm。

8.根據權利要求1所述的一種基于表面親疏水微結構設計的涂布機刮刀，其特征是所述的條形溝槽微結構的溝槽長度為與溝槽平行的刮刀基底邊長的2/3。

9.根據權利要求2所述的一種基于表面親疏水微結構設計的涂布機刮刀，其特征是所述的親水性處理是采用氧等離子體照射。

10.根據權利要求1~9所述的一種基于表面親疏水微結構設計的涂布機刮刀，其特征是所述的親水層與疏水層相間隔的條形溝槽微結構的形成過程按如下步驟：刮刀基底為硅片基底；在硅片基底上通過旋涂工藝設置一疏水層，再在疏水層上方涂覆一層光刻膠；利用光刻技術，在掩膜板的幫助下，刻蝕出具有條形溝槽的間隔橫向均勻分布的圖案化微結構基底；再在掩模板的幫助下，對刻蝕出條形溝槽進行親水性處理，使得暴露出的硅片表面具有親水性功能，最終獲得親疏水圖案化微結構的刮刀。