[發明專利]石英晶體厚度檢測裝置

有效

• 申請號: 202110237575.5
• 申請日: 2021-03-09
• 公開（公告）號: CN113280725B
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發明（設計）人: 劉玉棟;鞏向輝;田峻瑜;方華斌
• 申請（專利權）人: 歌爾微電子股份有限公司
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 梁馨怡

1.一種石英晶體厚度檢測裝置，其特征在于，所述石英晶體厚度檢測裝置包括：

檢測組件，包括兩個檢測極板，兩個所述檢測極板分別為第一檢測極板以及第二檢測極板，兩個檢測極板之間用于放置待檢測的石英晶片；

石英晶體檢測電路，所述石英晶體檢測電路分別與兩個所述檢測極板連接，用于檢測兩個檢測極板之間形成的電容的振蕩頻率；以及

控制電路，所述控制電路的數據輸入端與所述石英晶體檢測電路的輸出端連接，并用于根據所述振蕩頻率確定形成的電容的電容值，并根據所述電容值確定所述石英晶片的厚度；

所述石英晶體檢測電路根據下述公式確定兩個所述檢測極板之間的待檢測的石英晶片的厚度：

；

其中，，為500組數據所得平均容值，為寄生電容的數值，為石英晶片實際電容值，為待檢測的石英晶片的厚度，j、x均為大于或等于1的自然數。

2.如權利要求1所述的石英晶體厚度檢測裝置，其特征在于，所述石英晶體檢測電路根據下述公式確定兩個所述檢測極板之間的待檢測的石英晶片的厚度：；

其中，為待檢測的石英晶片的介電系數；為真空的介電系數；為待檢測的石英晶片的相對介電系數；為第一檢測極板和第二檢測極板之間的有效面積；為第一檢測極板和第二檢測極板之間的距離；為待檢測的石英晶片的標準厚度要求的最小數量單位；為待檢測的石英晶片的厚度；為兩個檢測極板之間形成的電容。

3.如權利要求1所述的石英晶體厚度檢測裝置，其特征在于，兩個所述檢測極板均為覆銅板。

4.如權利要求1所述的石英晶體厚度檢測裝置，其特征在于，兩個所述檢測極板分別為第一檢測極板以及第二檢測極板，所述石英晶體檢測電路包括多個第一電感、多個第一電容以及檢測芯片，所述第一電感的第一端、所述第一電容的第一端與所述第一檢測極板互連，其連接節點為所述檢測芯片的第一檢測端，所述第一電感的第二端、所述第一電容的第二端與所述第二檢測極板互連，其連接節點為所述檢測芯片的第二檢測端。

5.如權利要求4所述的石英晶體厚度檢測裝置，其特征在于，所述檢測芯片的型號為FDC2214。

6.如權利要求1所述的石英晶體厚度檢測裝置，其特征在于，所述石英晶體厚度檢測裝置還包括電源電路，所述電源電路的輸出端與所述控制電路的電源端連接；

所述電源電路，用于為所述控制電路供電。

7.如權利要求1所述的石英晶體厚度檢測裝置，其特征在于，所述石英晶體厚度檢測裝置還包括報警電路，所述報警電路的輸入端與所述控制電路的報警信號輸出端連接；

所述控制電路，還用于在所述待檢測的石英晶片的厚度超出預設值時，輸出報警信號；

所述報警電路，用于在接收到所述報警信號時報警。

8.如權利要求4所述的石英晶體厚度檢測裝置，其特征在于，所述石英晶體厚度檢測裝置還包括按鍵電路，所述按鍵電路的輸出端與所述控制電路的測量輸入端連接；

所述按鍵電路鍵入模式選擇指令，并在模式選擇后，進行校準數據輸入或者測量數據輸入；

所述控制電路，用于根據所述模式選擇指令切換到對應的校準模式或者測量模式，并根據所述校準數據入或者測量數據確定所述待檢測的石英晶片的厚度是否超出預設值。

9.如權利要求1所述的石英晶體厚度檢測裝置，其特征在于，所述石英晶體厚度檢測裝置還包括顯示電路，所述顯示電路的輸入/輸出端與所述控制電路的輸入/輸出端連接；

所述顯示電路，用于顯示所述控制電路輸出的顯示信號。