[發明專利]一種去膠機用晶圓傳送手臂

在審

• 申請號: 202110237305.4
• 申請日: 2021-03-03
• 公開（公告）號: CN112975910A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 廖海濤
• 申請（專利權）人: 無錫邑文電子科技有限公司
• 主分類號: B25J9/00
• 分類號: B25J9/00;B25J11/00;B25J15/00
• 代理公司: 常州唯思百得知識產權代理事務所(普通合伙) 32325
• 代理人: 卓翠翠

1.一種去膠機用晶圓傳送手臂，具有手臂和手指單元(4)；其特征在于：所述手臂的下方設置有可跟隨手臂進行伸縮聯動的輔助聯動裝置(6)；所述手臂包括第一手臂(1)和第二手臂(2)；所述第一手臂(1)通過F關節(11)與晶圓傳送手臂的驅動裝置連接；與所述晶圓傳送手臂驅動裝置連接的第一手臂(1)下方設置有支撐平臺(12)；所述第一手臂(1)與第二手臂(2)通過S關節(21)連接，S關節(21)的下方設有S平臺(22)；所述第二手臂(2)前端設有第三手臂(3)且手指單元(4)安裝在第三手臂(3)的兩端；所述第三手臂(3)的中間段向外延伸形成平臺(31)；所述手臂、輔助聯動裝置(6)、S平臺(22)以及平臺(31)形成雙四邊形伸縮結構。

2.根據權利要求1所述的去膠機用晶圓傳送手臂，其特征在于：所述S平臺(22)內設有兩個嚙合的齒輪，齒輪的比例為1:1。

3.根據權利要求2所述的去膠機用晶圓傳送手臂，其特征在于：所述輔助聯動裝置(6)包括第一輔助臂(61)和第二輔助臂(62)；所述支撐平臺(12)、第一輔助臂(61)以及第二輔助臂(62)為連桿結構；所述第二輔助臂(62)的末端通過固定桿與平臺(31)活動連接。

4.根據權利要求3所述的去膠機用晶圓傳送手臂，其特征在于：所述第一輔助臂(61)和第二輔助臂(62)重疊處形成旋轉關節，旋轉關節處的第二輔助臂(62)穿過第一輔助臂(61)與S平臺(22)內的齒輪連接。

5.根據權利要求1至4所述的任一去膠機用晶圓傳送手臂，其特征在于：所述手指單元(4)通過可拆卸組件(7)安裝在第三手臂(3)的兩端。

6.根據權利要求5所述的去膠機用晶圓傳送手臂，其特征在于：所述可拆卸組件(7)包括固定板(71)和夾塊(72)；所述夾塊(72)通過螺栓安裝在固定板(71)上，所述固定板(71)再通過螺栓鎖緊安裝在第三手臂(3)的兩端。

7.根據權利要求6所述的去膠機用晶圓傳送手臂，其特征在于：所述手指單元(4)通過螺栓鎖緊安裝在夾塊(72)上，所述夾塊(72)與夾塊(72)之間的水平距離與第三手臂(3)末端手臂寬度相同。