[發明專利]一種深紫外濾光片及其設計方法在審

申請號：	202110235225.5	申請日：	2021-03-03
公開（公告）號：	CN113050272A	公開（公告）日：	2021-06-29
發明（設計）人：	張偉麗;馮操;王建國;易葵;朱美萍;朱瑞;孫建;沈雪峰;邵建達	申請（專利權）人：	中國科學院上海光學精密機械研究所
主分類號：	G02B27/00	分類號：	G02B27/00;G02B5/28;G02B5/20
代理公司：	上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317	代理人：	張寧展
地址：	201800 ***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種深紫濾光及其設計方法
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【說明書】：

本發明屬于光學薄膜技術領域，具體涉及一種深紫外濾光片及設計方法，該深紫外濾光片結構為:Sub/Ma(HL)^mb(HL)ⁿ x₁Hx₂Lx₃Hx₄Lx₅Hx₆Lx₇H/Air，其中Sub表示基板，H和L表示光學厚度為λ/4的高低折射率材料膜層，a、b、x₁、x₂、x₃、x₄、x₅、x₆和x₇為H和L層的系數，m和n為膜層的周期數，M為應力調節層。本發明提出的深紫外濾光片的設計方法，在基板上設計深紫外濾光片膜系，將濾光片膜堆和應力調節層通過膜層厚度優化，在220nm波長處實現高透射率和235?285nm波長處低透射率的同時，解決了深紫外薄膜所用氟化物材料張應力過大導致膜層龜裂的問題。該設計方法提供的深紫外濾光片，可以對人體無害的220nm特定紫外線的捕捉，同時抑制對人體有害的其他紫外線，在紫外線消毒殺菌儀器中有廣泛地應用前景。

技術領域

本發明屬于光學薄膜濾光片技術領域，具體涉及一種深紫外濾光片及其設計方法。

背景技術

近年來，紫外線(波長200nm-400nm)一直被用于各種環境中的消菌殺毒。在醫院、診所里，用紫外線泛光燈對空氣和水平表面進行消毒，或對醫療器械的托盤進行消毒；在工廠、辦公室和家庭中也使用紫外線泛光對空氣和表面進行殺毒。但是目前紫外線消菌殺毒的時候不能有人在場的情況下安全地進行，這限制了紫外線消菌殺毒在病毒大流行等情況下的有效性。

波長220nm的紫外線無法穿透人體皮膚角質層，對人體無害，且具有與傳統紫外線燈同等的殺菌效果。研究成果表明，220nm具有強力的殺菌力，而且可直接照射于人體皮膚。今后，有望以醫療現場的手指消毒為首，向學校、護理設施、食品工廠、洗手間及廚房等人會進入的場所廣泛擴大用途，對這些場所進行殺菌和病毒滅活，今后在醫療及非醫療領域的殺菌和消毒應用潛力非常大。

因此，如果可以研制出一種用于對人體無害的220nm波長紫外線消毒殺菌儀器中的深紫外濾光片，將大大提高深紫外殺毒效率，很好地解決有人在場的消菌殺毒的安全問題，開拓科研領域，服務于醫務工作和日常生活，其市場前景也將會很可觀。

發明內容

本發明在于提供一種深紫外濾光片及其設計方法，能夠用于紫外線消毒殺菌儀器中紫外光源特定光譜的捕捉，利于解決有人在場的消菌殺毒的安全問題。

為解決上述技術問題，本發明提出了一種深紫外濾光片，該濾光片的初始結構為:Sub/M a(HL)^m b(HL)ⁿ x₁Hx₂Lx₃Hx₄Lx₅Hx₆Lx₇H/Air，其中Sub表示基板，H和L分別表示光學厚度為λ/4的高低折射率材料膜層，a、b、x₁、x₂、x₃、x₄、x₅、x₆和x₇分別為H和L層的系數，m和n分別為周期膜層HL的周期數，M為應力調節膜層。