[發明專利]一種懸臂式探針壽命測算方法在審
| 申請號： | 202110234623.5 | 申請日： | 2021-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN113077833A | 公開（公告）日： | 2021-07-06 |
| 發明（設計）人： | 傅郁曉;張秀超;吳慶;聞國濤;高大會 | 申請（專利權）人： | 上海偉測半導體科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G11C29/00 | 分類號： | G11C29/00;G11C29/08 |
| 代理公司： | 上海領洋專利代理事務所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 羅曉鵬 |
| 地址： | 200013 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 懸臂 探針 壽命 測算 方法 | ||
1.一種獲取懸臂式探針壽命測算方法，其特征在于，至少包括：
Step1：獲取在晶圓測試過程中懸臂式探針系統的探針的初始針長，記為L0，設定懸臂式探針的針長報廢預警值G，報廢值B；
Step2：獲取在晶圓測試過程中懸臂式探針系統的探針在單位批次的芯片上的著落頻次，記為X,并記錄最后一次著落時懸臂式探針的針長，記為L1；
Step3：根據Step1-Step2得到的L0、L1、X的數值計算得到懸臂式探針系統的探針著落的單次損耗值，記為Y，Y＝(L0－L1)/X；
Step4：計算晶圓測試過程中懸臂式探針系統探針的著落預警值，即探針需要預警的最大使用次數X1＝(L0-G)/Y；針卡報廢值X2＝(L0-B)/Y。
2.如權利要求1所述的獲取懸臂式探針壽命測算方法，其特征在于，在步驟Step1-Step2中，所述L0和L1的長度值通過測量顯微鏡或者投影顯微鏡測得。
3.如權利要求1所述的獲取懸臂式探針壽命測算方法，其特征在于，在步驟Step1-Step2中所述L0和L1的長度值是指探針的針頭與針桿之間的垂直距離。
4.如權利要求1所述的獲取懸臂式探針壽命測算方法，其特征在于，在步驟Step2中，探針的著落頻次獲取采用傳感器或使用測試儀器上的數據讀取裝置獲取。
5.如權利要求1所述的獲取懸臂式探針壽命測算方法，其特征在于，在步驟Step1中，針長報廢預警值G≤7mil。
6.如權利要求1所述的獲取懸臂式探針壽命測算方法，其特征在于，在步驟Step1中，針長報廢值B≤5mil。
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