[發明專利]一種超高速激光加工用多邊形掃描振鏡裝置在審
| 申請號： | 202110233321.6 | 申請日： | 2021-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN112775543A | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發明（設計）人： | 成巍;豪斯特·艾克斯納;安德烈·史泰克;馬新強;馬慶增 | 申請（專利權）人： | 山東省科學院激光研究所 |
| 主分類號： | B23K26/082 | 分類號： | B23K26/082 |
| 代理公司： | 濟南泉城專利商標事務所 37218 | 代理人： | 張貴賓 |
| 地址： | 250000 山東省濟南*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 超高速 激光 工用 多邊形 掃描 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種超高速激光加工用多邊形掃描振鏡裝置，包括控制器，以及分別由控制器控制的超短脈沖激光器、二維振鏡組件和f-θ透鏡，其特征在于：還包括多邊形振鏡，以及與控制器連接的多邊形振鏡轉動裝置，多邊形振鏡設有兩個上下對稱的多面反射基臺，且兩個多面反射基臺之間的反射面夾角為90°。
2.根據權利要求1所述的超高速激光加工用多邊形掃描振鏡裝置，其特征在于：每個多面反射基臺具有不少于三個反射面，各反射面基于多邊形振鏡中心軸陣列分布。
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