[發(fā)明專利]一種減震臺(tái)架及采用該減震臺(tái)架的檢測(cè)設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110229757.8
• 申請(qǐng)日: 2021-03-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113008537A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉麗麗;楊云仙;谷孝東;劉華雷;張?bào)w瑞;曹葵康;溫延培
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01M13/00
• 分類號(hào): G01M13/00
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

1.一種減震臺(tái)架，其特征在于：減震臺(tái)架(2000)包括下鋼架(2100)、減震支撐組件(2200)、臺(tái)架承載臺(tái)板(2300)和檢測(cè)承載底柱(2400)；所述下鋼架(2100)、減震支撐組件(2200)和臺(tái)架承載臺(tái)板(2300)自下而上依此設(shè)置；

其中，四個(gè)所述減震支撐組件(2200)設(shè)置在下鋼架(2100)的四個(gè)邊角上，低溫度形變系數(shù)的臺(tái)架承載臺(tái)板(2300)高度可調(diào)的設(shè)置在四個(gè)所述減震支撐組件(2200)上，兩個(gè)檢測(cè)承載底柱(2400)相對(duì)的設(shè)置在臺(tái)架承載臺(tái)板(2300)右端；

所述下鋼架(2100)包括型材模塊化構(gòu)成的鋼架本體(2110)和在鋼架本體(2110)的四角底部設(shè)置臺(tái)架地腳(2120)，臺(tái)架地腳(2120)包括地腳底墊和地腳螺栓，起到防滑、支撐、減震和高度調(diào)節(jié)作用，

所述臺(tái)架地腳(2120)和減震支撐組件(2200)組成減震臺(tái)架(2000)共同起到減震調(diào)高作用。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減震臺(tái)架，其特征在于：所述減震支撐組件(2200)包括減震器主體(2210)、兩個(gè)輔助頂腳(2220)、減震底板(2230)和支撐斜立板(2240)，所述減震底板(2230)向外延申的水平設(shè)置在鋼架本體(2110)的四角上表面，在延伸段與鋼架本體(2110)的側(cè)面之間設(shè)置所述支撐斜立板(2240)，所述減震器主體(2210)和位于減震器主體(2210)兩側(cè)的輔助頂腳(2220)設(shè)置在所述減震底板(2230)上，兩個(gè)輔助頂腳(2220)起預(yù)調(diào)高和限位止擋作用，所述減震器主體(2210)起微調(diào)和吸震作用。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減震臺(tái)架，其特征在于：減震臺(tái)架(2000)還包括頂升模組(2500)，所述頂升模組(2500)設(shè)置在減震底板(2230)上開(kāi)設(shè)的頂升缺口處，用于接收并頂升待測(cè)件。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的減震臺(tái)架，其特征在于：所述頂升模組(2500)包括頂升底座(2510)、同步器(2520)、頂升電機(jī)(2530)、頂升上架(2540)和頂針組(2550)，型材構(gòu)成的矩形頂升底座(2510)固定至下鋼架(2100)上，同步器(2520)設(shè)置在頂升底座(2510)的四角上，所述頂升電機(jī)(2530)設(shè)置在頂升底座(2510)的中部，且頂升電機(jī)(2530)與同步器(2520)的頂面平齊設(shè)置；通過(guò)型材搭建的頂升上架(2540)支撐在所述頂升電機(jī)(2530)和同步器(2520)上，頂針組(2550)可拆卸的布置在所述頂升上架(2540)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的減震臺(tái)架，其特征在于：所述頂針組(2550)的每個(gè)頂針單元包括自下而上可拆卸設(shè)置的頂針底座、頂針柱和頂針頭。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的減震臺(tái)架，其特征在于：所述頂升模組(2500)還包括頂升光纖組件(2560)和頂升輔助固定器(2570)，其中兩組頂升光纖組件(2560)對(duì)角的設(shè)置在所述頂升上架(2540)的對(duì)角線端部，兩個(gè)所述頂升輔助固定器(2570)相對(duì)的設(shè)置在頂升底座(2510)的兩個(gè)邊框處用于輔助固定。

7.一種采用權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的減震臺(tái)架的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：檢測(cè)設(shè)備包括功能外箱(1000)、減震臺(tái)架(2000)、平臺(tái)模組(3000)、移載模組(4000)和光學(xué)檢測(cè)裝置(5000)，其中所述減震臺(tái)架(2000)、平臺(tái)模組(3000)、移載模組(4000)和光學(xué)檢測(cè)裝置(5000)非剛性連接或間隔的設(shè)置在所述功能外箱(1000)內(nèi)；

所述平臺(tái)模組(3000)設(shè)置在所述減震臺(tái)架(2000)上，所述平臺(tái)模組(3000)用于待測(cè)件的氣浮承載及定位，且平臺(tái)模組(3000)的浮動(dòng)平面度為±20μm；所述光學(xué)檢測(cè)裝置(5000)設(shè)置在所述平臺(tái)模組(3000)上方，用于待測(cè)件的檢測(cè)；所述移載模組(4000)設(shè)置在所述光學(xué)檢測(cè)裝置(5000)下方，用于將待測(cè)件在功能外箱(1000)的進(jìn)出料口與光學(xué)檢測(cè)裝置(5000)之間移送；

其中所述光學(xué)檢測(cè)裝置(5000)包括定位相機(jī)、主檢相機(jī)和復(fù)檢相機(jī)，用于待測(cè)件的定位、初檢和精檢。