[發(fā)明專利]一種光學檢測裝置和采用該裝置的檢測設(shè)備

有效

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• 申請日: 2021-03-02
• 公開（公告）號: CN112595723B
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張體瑞;楊云仙;劉麗麗;劉華雷;谷孝東;曹葵康;溫延培
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州天準科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01;G01B11/00
• 代理公司: 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

本發(fā)明公開了一種光學檢測裝置和采用該裝置的檢測設(shè)備，裝置包括主檢相機組件、復檢相機組件、定位相機組件、線掃驅(qū)動組件、拖鏈組件和雙腔箱架；檢測設(shè)備包括減震臺架、平臺模組、和光學檢測裝置，其中所述平臺模組和光學檢測裝置設(shè)置在所述減震臺架上。通過主檢相機組件、復檢相機組件、定位相機組件實現(xiàn)對不同規(guī)格待測件的定位、初檢和復檢，采用兩組主檢相機組件替換現(xiàn)有的多組線排相機組，降低了成本，初檢后進行復檢提高了檢測精度和檢測效率，通過定位相機實現(xiàn)對不同規(guī)格待測件的進料定位和缺陷位置定位等，提高了整機的功能集成度和檢測效率，降低了整機成本和故障率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及檢測設(shè)備及其零部件技術(shù)，尤其涉及一種光學檢測裝置和采用該裝置的檢測設(shè)備。

背景技術(shù)

對于computer-計算機、通信-communication、消費類電子產(chǎn)品-consumerelectronics等3C產(chǎn)品的主板（如FPC、flexible printed circuit，柔性印刷電路板，F(xiàn)PD、flat panel display-平板顯示器）檢測設(shè)備中，必不可少的用到對待測件的視覺或影像檢測機構(gòu)，這類機構(gòu)通常與移載裝置聯(lián)合使用，以對待測件進行缺陷檢測和/或尺寸的測量。

然而，隨著檢測設(shè)備越來越高的精度和多功能集成的要求，檢測設(shè)備對視覺或影像檢測機構(gòu)的功能要求越來越多。如現(xiàn)有技術(shù)中，面對大面積待測件，如FPD板等的檢測，目前的方案是采用線排多個CCD相機的方式，這顯然造成了成本的大幅增加；另一方案為采用單個相機加拖鏈實現(xiàn)往復運動進行圖像掃描檢測，這種方式對往復運動的速率要求太高；上述方案單一，對精密檢測的高精度要求無法滿足，且對于拖鏈往復運動的模式，待測件無法確保定位高精度，也造成檢測精度的降低。

因此，亟需一種適應大幅面待測件基板的低成本多功能的光學檢測裝置。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種光學檢測裝置和采用該裝置的檢測設(shè)備，其能解決上述問題。

本發(fā)明的目的采用以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

一種光學檢測裝置，包括主檢相機組件、復檢相機組件、定位相機組件、線掃驅(qū)動組件、拖鏈組件和雙腔箱架；所述線掃驅(qū)動組件設(shè)置在雙腔箱架的下腔中，所述拖鏈組件設(shè)置在雙腔箱架的上腔中，所述主檢相機組件、復檢相機組件和定位相機組件在線掃驅(qū)動組件的驅(qū)動下橫向移動；其中，所述定位相機組件對待測件進行光學定位，所述主檢相機組件對定位后的待測件進行線掃初檢測，所述復檢相機組件對初檢測后的位點進行光學復檢以最終確定瑕疵位置、瑕疵類型、及關(guān)鍵尺寸。

優(yōu)選的，所述線掃驅(qū)動組件包括X軸橫梁、直線電機定子、直線電機動子、X軸上軌、X軸側(cè)軌、光學組件主轉(zhuǎn)接板和光柵組件。

所述直線電機定子和X軸上軌平行的固定至所述X軸橫梁上表面，所述X軸側(cè)軌與光柵組件平行的固定至所述X軸橫梁的前側(cè)面上，且所述光柵組件設(shè)置在于X軸側(cè)軌的上方。

所述光學組件主轉(zhuǎn)接板為L型或T型轉(zhuǎn)接板，轉(zhuǎn)接板的水平板底面通過上轉(zhuǎn)接槽與X軸上軌滑動連接，在轉(zhuǎn)接板的水平板底面還通過直線電機動子與直線電機定子匹配連接，轉(zhuǎn)接板的豎直板后側(cè)面并通過側(cè)轉(zhuǎn)接槽與X軸側(cè)軌滑動連接，以此實現(xiàn)直線電機對光學組件主轉(zhuǎn)接板的橫向往復驅(qū)動。

優(yōu)選的，臨近所述光柵組件上方設(shè)置光柵防護鈑金，在所述X軸側(cè)軌下方臨近的設(shè)置側(cè)軌油槽。

優(yōu)選的，所述拖鏈組件包括拖鏈體和拖鏈轉(zhuǎn)接架，所述拖鏈轉(zhuǎn)接架的一端與拖鏈體連接，所述轉(zhuǎn)接架的另一端與所述光學組件主轉(zhuǎn)接板連接。