[發明專利]一種具有多軸聯動機械手的晶圓自動傳輸裝置

在審

• 申請號: 202110228760.8
• 申請日: 2021-03-02
• 公開（公告）號: CN112736004A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 張凱
• 申請（專利權）人: 韋森特(東莞)科技技術有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B25J9/12;B25J15/02
• 代理公司: 東莞技創百科知識產權代理事務所(普通合伙) 44608
• 代理人: 邱凱

1.一種具有多軸聯動機械手的晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：包括

機架（1）；

固定安裝在機架（1）內的機械手傳動機構（2）和風箱傳動機構（3）；

與機械手傳動機構（2）傳動連接的機械手機構（4），所述機械手機構通過數個機械手傳動組件（45）聯動形成多軸聯動機械手，且機械手機構（4）上設置有夾持機構（46）；

與風箱傳動機構（3）傳動連接的風箱機構（5），所述風箱機構（5）活動安裝在機架（1）上。

2.根據權利要求1所述的一種具有多軸聯動機械手的晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述機械手機構（4）包括第一機械手（41）、第二機械手（42）、第三機械手（43）和第四機械手（44），所述第一機械手（41）、第二機械手（42）和第三機械手（43）內均設置有機械手傳動組件（45），所述第一機械手（41）固定安裝在機械手傳動機構（2）的輸出端，所述第一機械手（41）通過機械手傳動組件（45）與第二機械手（42）傳動連接，所述第二機械手（42）通過機械手傳動組件（45）與第三機械手（43）傳動連接，所述第三機械手（43）通過機械手傳動組件（45）與第四機械手（44）傳動連接，所述夾持機構（46）固定安裝在第四機械手（44）內。

3.根據權利要求2所述的一種具有多軸聯動機械手的晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述機械手傳動組件（45）包括機械手傳動電機（451）、機械手蝸桿（452）和機械手蝸輪（453），所述機械手傳動電機（451）的輸出軸與機械手蝸桿（452）傳動連接，所述機械手蝸桿（452）與機械手蝸輪（453）傳動連接，所述機械手蝸輪（453）分別與第二機械手（42）、第三機械手（43）和第四機械手（44）固定連接。

4.根據權利要求1至2任一項所述的一種具有多軸聯動機械手的晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述夾持機構（46）包括夾持電機（461）、夾持蝸桿（462）、夾持蝸輪（463）、夾持連桿（464）和卡爪（465），所述夾持電機（461）固定安裝在第四機械手（44）內，且夾持電機（461）的輸出軸與夾持蝸桿（462）傳動連接，所述夾持蝸桿（462）與夾持蝸輪（463）傳動連接，所述夾持連桿（464）活動安裝在夾持蝸輪（463）上，且夾持連桿（464）的另一端與卡爪（465）固定連接。

5.根據權利要求1至2任一項所述的一種具有多軸聯動機械手的晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述機械手傳動機構（2）固定安裝在機架（1）的上端，且機械手傳動機構（2）包括升降組件（21）和旋轉組件（22），所述升降組件（21）包括機械手升降電機（211）、機械手傳動皮帶（212）、機械手升降絲桿（213）和機械手升降導軌（214），所述機械手升降電機（211）通過機械手傳動皮帶（212）與機械手升降絲桿（213）傳動連接，所述旋轉組件（22）包括旋轉主軸（221）、轉向電機（222）和減速齒輪箱（223），所述旋轉主軸（221）活動安裝在機械手升降導軌（214）上，所述轉向電機（222）的輸出軸與減速齒輪箱（223）傳動連接，所述減速齒輪箱（223）的輸出軸與旋轉主軸（221）固定連接，所述機械手機構（4）固定安裝在旋轉主軸（221）的下端。

6.根據權利要求1所述的一種具有多軸聯動機械手的晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述風箱傳動機構（3）固定安裝在機架（1）的下端，且風箱傳動機構（3）包括風箱傳動電機（31）、風箱傳動絲桿（32）和風箱傳動導軌（33），所述風箱傳動電機（31）的輸出軸與風箱傳動絲桿（32）傳動連接，所述風箱傳動絲桿（32）與風箱機構（5）傳動連接，所述風箱機構（5）活動安裝在風箱傳動導軌（33）上。