[發明專利]顯示裝置的制造裝置在審
| 申請號: | 202110228101.4 | 申請日: | 2021-03-02 |
| 公開(公告)號: | CN114373694A | 公開(公告)日: | 2022-04-19 |
| 發明(設計)人: | 章珠寧 | 申請(專利權)人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京金宏來專利代理事務所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人: | 樸英淑 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 顯示裝置 制造 裝置 | ||
1.一種顯示裝置的制造裝置,包括:
工作臺,固定第一電子部件;
壓接部,與所述工作臺對置地配置,并且對配置在所述第一電子部件上的第二電子部件加壓;
至少一個距離測量部,配置在所述工作臺上,并且測量與所述壓接部間隔開的距離;以及
控制部,比較所述至少一個距離測量部根據時間測量出的測量數據和存儲的存儲數據,從而判斷所述第一電子部件與所述第二電子部件之間的接合不良。
2.根據權利要求1所述的顯示裝置的制造裝置,其中,
所述測量數據包括:
第一距離,是在所述壓接部開始將所述第二電子部件壓接到所述第一電子部件的第一時刻,所述壓接部與所述至少一個距離測量部被間隔開的距離;以及
第二距離,是在從所述第一時刻開始經過了預設的時間的第二時刻,所述壓接部與所述至少一個距離測量部被間隔開的距離。
3.根據權利要求2所述的顯示裝置的制造裝置,其中,
所述存儲數據包括預設的界限差異值,
所述控制部計算出所述第一距離與所述第二距離的差異值,并且
比較所述差異值和所述預設的界限差異值。
4.根據權利要求1所述的顯示裝置的制造裝置,還包括:
虛設膜,在所述壓接部與所述工作臺之間與所述第二電子部件對置地配置。
5.根據權利要求4所述的顯示裝置的制造裝置,其中,
所述測量數據包括在所述壓接部開始將所述第二電子部件壓接到所述第一電子部件的第一時刻所述壓接部與所述至少一個距離測量部被間隔開的第一距離,
所述存儲數據包括預設的下限厚度值和預設的上限厚度值,
所述控制部根據所述第一距離確保所述第二電子部件和所述虛設膜的總厚度值,并且分別比較所述總厚度值與所述預設的下限厚度值及所述預設的上限厚度值。
6.根據權利要求1所述的顯示裝置的制造裝置,其中,
所述控制部分別根據所述測量數據確保所述壓接部開始將所述第二電子部件壓接到所述第一電子部件的第一時刻以及將所述第二電子部件壓接到所述第一電子部件之后使所述壓接部離開的第二時刻,
所述控制部比較所述第一時刻與所述第二時刻的差異和預設的時間。
7.根據權利要求1所述的顯示裝置的制造裝置,其中,
所述至少一個距離測量部包括:第一距離測量部;以及第二距離測量部,在所述工作臺上沿著第一方向與所述第一距離測量部間隔開,
所述測量數據包括所述第一距離測量部與所述壓接部被間隔開的第一隔開距離以及所述第二距離測量部與所述壓接部被間隔開的第二隔開距離。
8.根據權利要求7所述的顯示裝置的制造裝置,其中,
所述存儲數據包括預設的第一方向界限差異值,
所述控制部計算出所述第一隔開距離與所述第二隔開距離的第一方向差異值,并且比較所述第一方向差異值和所述預設的第一方向界限差異值。
9.根據權利要求1所述的顯示裝置的制造裝置,其中,
所述至少一個距離測量部包括:傳感器,在所述至少一個距離測量部與所述壓接部之間感知電容。
10.根據權利要求1所述的顯示裝置的制造裝置,其中,
所述第一電子部件和所述第二電子部件中的任一個包括顯示面板。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





