[發明專利]一種鋁靶材的制造方法有效
| 申請號： | 202110227710.8 | 申請日： | 2021-03-01 |
| 公開（公告）號： | CN113025972B | 公開（公告）日： | 2023-09-08 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;李小萍 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C22F1/04;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鋁靶材 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種鋁靶材的制造方法，其特征在于，所述制造方法由依次進行的切割鋁錠、第一鍛伸、第一熱處理、第二鍛伸、第二熱處理、壓延與第三熱處理組成；
所述切割鋁錠后得到的鋁靶材坯料尺寸為(290-295mm)×(240-250mm)×(240-250mm)；
所述第一鍛伸的溫度為140-160℃，得到的鋁靶材坯料尺寸為(295-305mm)×(295-305mm)×(195-205mm)；
所述第一熱處理的溫度為295-305℃，保溫時間為28-32min；
所述第二鍛伸分為2步進行，分別為先后進行的第二粗鍛伸與第二精鍛伸；
所述第二粗鍛伸的溫度為140-160℃，得到的鋁靶材坯料尺寸為(740-742mm)×(190-195mm)×(120-125mm)；
所述第二精鍛伸的溫度為140-160℃，得到的鋁靶材坯料尺寸為(760-768mm)×(190-195mm)×(120-125mm)；
所述第二熱處理的溫度為290-310℃，保溫時間為25-40min；
所述壓延的溫度為290-310℃，得到的鋁靶材坯料尺寸為(2670-2675mm)×(210-215mm)×(22.5-23.5mm)；
所述第三熱處理的溫度為320-330℃，保溫時間為13-17min。
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