[發明專利]一種橫向模式抑制的聲表面波諧振器

在審

• 申請號: 202110227486.2
• 申請日: 2021-03-01
• 公開（公告）號: CN113114154A
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 郝文昌;駱偉;趙廣宏;焦海龍;張小輝;劉鐵鋼
• 申請（專利權）人: 北京遙測技術研究所;航天長征火箭技術有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/25
• 代理公司: 中國航天科技專利中心 11009
• 代理人: 張輝

1.一種橫向模式抑制的聲表面波諧振器，其特征在于：包括基片(1)、叉指換能器(2)、第一金屬反射柵陣(3)、第二金屬反射柵陣(4)、第一間隙(5)和第二間隙(6)；基片(1)上中心位置處設置有叉指換能器(2)，叉指換能器(2)的一側設置有第一金屬反射柵陣(3)，另一側設置有第二金屬反射柵陣(4)，叉指換能器(2)和第一金屬反射柵陣(3)之間形成第一間隙(5)，叉指換能器(2)和第二金屬反射柵陣(4)之間形成第二間隙(6)；所述叉指換能器(2)兩端匯流條處均連接輸出引線；定義聲孔徑垂直方向為x軸，叉指換能器(2)、第一金屬反射柵陣(3)、第二金屬反射柵陣(4)的上方匯流條在一條直線上，叉指換能器(2)、第一金屬反射柵陣(3)、第二金屬反射柵陣(4)的下方匯流條在另一條直線上，叉指換能器(2)、第一金屬反射柵陣(3)、第二金屬反射柵陣(4)的上方匯流條所在直線與x軸的夾角為偏向角，聲波傳播群速度方向和相速度方向的夾角為能流角；所述能流角在-10°～+10°之間，偏向角與能流角不重合，且偏向角與能流角的角度差在-20°～0°或0°～+20°之間。

2.根據權利要求1所述的一種橫向模式抑制的聲表面波諧振器，其特征在于：所述叉指換能器(2)不加權。

3.根據權利要求1所述的一種橫向模式抑制的聲表面波諧振器，其特征在于：所述基片(1)為石英基片、LiNbO₃基片、LiTaO₃基片、LGS基片或LGT基片。

4.根據權利要求1所述的一種橫向模式抑制的聲表面波諧振器，其特征在于：所述叉指換能器(2)、第一金屬反射柵陣(3)和第二金屬反射柵陣(4)的材料相同，為Al、Au、Cu、Pt或金屬復合材料。

5.根據權利要求1所述的一種橫向模式抑制的聲表面波諧振器，其特征在于：所述叉指換能器(2)、第一金屬反射柵陣(3)和第二金屬反射柵陣(4)的金屬化比相等，金屬化比為0.1～0.6。

6.根據權利要求1所述的一種橫向模式抑制的聲表面波諧振器，其特征在于：所述第一間隙(5)和第二間隙(6)寬度相等或不相等，第一間隙(5)和第二間隙(6)寬度均為所述叉指換能器(2)電周期的0.25～2.5倍。

7.根據權利要求1所述的一種橫向模式抑制的聲表面波諧振器，其特征在于：所述第一金屬反射柵陣(3)和第二金屬反射柵陣(4)的同步頻率相同，均為叉指換能器同步頻率的0.95～1.05倍。

8.根據權利要求1所述的一種橫向模式抑制的聲表面波諧振器，其特征在于：所述第一金屬反射柵陣(3)和第二金屬反射柵陣(4)均與叉指換能器(2)平行。