[發明專利]一種高通量、高信噪比和高靈敏的紫外光譜成像儀

在審

• 申請號: 202110227301.8
• 申請日: 2021-03-01
• 公開（公告）號: CN113108907A
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 孫鑫;白永林;陳震;石大蓮;李然;曹偉偉;朱軍;王博;王樂;楊凱
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28;G01J3/02;G01J3/04;G01J3/18
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 王楊洋

1.一種高通量、高信噪比和高靈敏的紫外光譜成像儀，其特征在于：

包括沿光路依次設置的反射式成像鏡(1)、哈達瑪模板(2)、色散單元、紫外敏感圖像增強型探測器組件(4)和一維平移臺(5)；

所述反射式成像鏡(1)的一次像面與色散單元的物面相重合，哈達瑪模板(2)位于該重合面上；

所述哈達瑪模板(2)上各狹縫的長度方向與色散單元的色散方向正交，寬度方向與所述色散方向一致；哈達瑪模板(2)包括編碼窗(21)和編碼模板(22)，所述一維平移臺(5)與編碼模板(22)連接，用于移動編碼模板(22)；

所述紫外敏感圖像增強型探測器組件(4)包括電子學讀出系統，以及沿光路依次設置的紫外像增強器、光纖面板和可開窗探測器；光纖面板分別與紫外像增強器和可開窗探測器的探測面耦合，可開窗探測器的探測面位于色散單元的像面處；電子學讀出系統與可開窗探測器電連接；

或者，所述紫外敏感圖像增強型探測器組件(4)包括電子學讀出系統，以及沿光路依次設置的紫外像增強器、光纖錐和可開窗探測器；光纖錐分別與紫外像增強器和可開窗探測器的探測面耦合，可開窗探測器的探測面位于色散單元的像面處；電子學讀出系統與可開窗探測器電連接。

2.根據權利要求1所述的高通量、高信噪比和高靈敏的紫外光譜成像儀，其特征在于：

所述色散單元為紫外像差校正型成像光柵(3)。

3.根據權利要求1所述的高通量、高信噪比和高靈敏的紫外光譜成像儀，其特征在于：

所述色散單元包括沿光路依次設置的反射式準直鏡、平面閃耀光柵和會聚成像鏡。

4.根據權利要求1所述的高通量、高信噪比和高靈敏的紫外光譜成像儀，其特征在于：

所述紫外像增強器的入射面處設置有衰減片。

5.根據權利要求1所述的高通量、高信噪比和高靈敏的紫外光譜成像儀，其特征在于：

所述哈達瑪模板(2)為連續N階模板，N≥3。

6.根據權利要求5所述的高通量、高信噪比和高靈敏的紫外光譜成像儀，其特征在于：

所述哈達瑪模板(2)為反射式或透射式。

7.根據權利要求3所述的高通量、高信噪比和高靈敏的紫外光譜成像儀，其特征在于：

所述會聚成像鏡為反射式或透射式。

8.根據權利要求2所述的高通量、高信噪比和高靈敏的紫外光譜成像儀，其特征在于：

所述反射式成像鏡(1)的半徑為600mm，面型為拋物面；

所述紫外像差校正型成像光柵(3)的半徑為200mm、面型為球面、成像級次為-1級；

所述編碼窗(21)尺寸為10mm×0.3mm，采用染黑的鋁合金制成；

所述編碼模板(22)尺寸為10mm×0.5mm，采用紫外增強熔石英制成，為3階S矩陣。

9.根據權利要求1所述的高通量、高信噪比和高靈敏的紫外光譜成像儀，其特征在于：

所述反射式成像鏡(1)和哈達瑪模板(2)均為自封閉形式。