[發明專利]微調螺釘裝配體和加工裝置

在審

• 申請號: 202110223840.4
• 申請日: 2021-03-01
• 公開（公告）號: CN113334196A
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發明（設計）人: 力石利康;和田健太郎
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B19/16
• 分類號: B24B19/16;B24B41/06;B24B47/12;B24B27/00;B24B55/00;B23B5/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

本發明提供微調螺釘裝配體和加工裝置，適當地測量對磨削磨具的加工工具施加的載荷。微調螺釘裝配體設置成將第1部件和第2部件隔開間隔地連結，能夠調整第1部件與第2部件之間的距離，并且能夠檢測施加于第2部件的載荷。微調螺釘裝配體包含：第1外螺紋，其能夠擰入形成于該第1部件的第1內螺紋；第2外螺紋，其在第1外螺紋的軸向的延長線上與第1外螺紋分離地配置，能夠擰入形成于第2部件的第2內螺紋，該第2內螺紋具有與第1內螺紋的螺距不同的螺距；連結部，其將相互分離的第1外螺紋和第2外螺紋連結成一體；以及載荷傳感器，其被施加壓縮載荷而收納在連結部的內部。

技術領域

本發明涉及微調螺釘裝配體和加工裝置。

背景技術

在通過安裝于磨削單元的環狀的多個磨削磨具對卡盤工作臺的保持面所保持的被加工物進行磨削的磨削裝置中，卡盤工作臺和磨削單元配置成使磨削磨具通過被加工物的中心。

對保持面所保持的被加工物的磨削加工在從被加工物的中心至外周的半徑區域中實施。在該半徑區域中，保持面和磨削磨具的下表面相互平行。另外，根據磨削后的被加工物的厚度的測量結果，調整保持面與磨削磨具的下表面的平行度。因此，具有用于調整保持面與磨削磨具的下表面的平行度的傾斜調整機構。

傾斜調整機構被主軸支承基座支承并使主軸單元傾斜，該主軸單元使磨削磨具進行旋轉。或者，傾斜調整機構被裝置基座支承并使卡盤軸單元傾斜，該卡盤軸單元使卡盤工作臺進行旋轉。

近年來，要求縮短被加工物的磨削時間。因此，在磨削加工時，磨削磨具以較大的載荷按壓被加工物。但是，當載荷過大時，由于配置于被加工物與保持面之間的帶被壓潰等，難以使磨削后的被加工物的厚度均勻。

因此，通過根據磨削加工時的載荷的測量結果對載荷進行控制，實現磨削后的晶片的厚度的均勻化。與此相關，為了測量載荷，如專利文獻1所公開的那樣，在裝置基座與卡盤軸單元之間或者主軸支承基座與主軸單元之間(部件之間)夾持有載荷傳感器。

專利文獻1：日本特開2003-326456號公報

專利文獻2：日本特開2013-119123號公報

但是，在專利文獻1所記載的結構中，當通過傾斜調整機構來改變卡盤軸單元或者主軸單元的傾斜時，夾持著載荷傳感器的部件之間的距離變化。此時，當夾持著載荷傳感器的部件之間的距離擴大時，存在載荷難以施加于載荷傳感器而難以通過載荷傳感器測量載荷的情況。

發明內容

因此，本發明的目的在于提供一種加工裝置，在加工時，即使在進行了用于調整卡盤工作臺的保持面與加工工具的下表面的平行度的傾斜調整之后，也能夠適當地測量施加于加工工具的載荷。

根據本發明的一個方面，提供一種微調螺釘裝配體，其設置成將第1部件和第2部件隔開間隔地連結，能夠調整該第1部件與該第2部件之間的距離，并且能夠檢測施加于該第2部件的載荷，其中，該微調螺釘裝配體具有：第1外螺紋，其能夠擰入形成于該第1部件的第1內螺紋；第2外螺紋，其在該第1外螺紋的軸向的延長線上與該第1外螺紋分離地配置，能夠擰入形成于該第2部件的第2內螺紋，該第2內螺紋具有與該第1內螺紋的螺距不同的螺距；連結部，其將相互分離的該第1外螺紋和該第2外螺紋連結成一體；以及載荷傳感器，其被施加壓縮載荷而收納在該連結部的內部。