[發明專利]一種顯示器基板生產用化學拋光機及其拋光方法

有效

• 申請號: 202110221404.3
• 申請日: 2021-02-27
• 公開（公告）號: CN113084622B
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 請求不公布姓名
• 申請（專利權）人: 深圳市新顯科技有限公司
• 主分類號: B24B7/24
• 分類號: B24B7/24;B24B41/06;B24B57/00;B24B57/02;B24B53/007
• 代理公司: 深圳泛航知識產權代理事務所(普通合伙) 44867
• 代理人: 鄧愛軍

1.一種顯示器基板生產用化學拋光機，包括機體（1），機體（1）的頂部固定安裝有頂架（2），機體（1）的頂部開設有拋光槽（101），機體（1）內部位于拋光槽（101）底部位置固定安裝有電機（3），電機（3）的頂部輸出端固定連接有拋光盤（4），拋光盤（4）的頂部固定安裝有拋光墊（5），頂架（2）位于拋光槽（101）頂部位置的底面固定安裝有拋光頭（6），拋光頭（6）底面的中部活動安裝有夾具（7），其特征在于：所述拋光盤（4）內部的底部開設有呈十字型連通的進液管腔（401），所述拋光墊（5）的中部開設有與進液管腔（401）中心連通的柱槽（8），所述柱槽（8）內部活動套接有壓蓋（9），所述壓蓋（9）的底部外圈與進液管腔（401）內壁之間固定連接有第一復位彈簧（11），所述拋光槽（101）內側底壁處呈十字分布固定安裝有凸塊（12），所述拋光盤（4）頂部外圈活動安裝有軸承（15），所述軸承（15）外圈與拋光槽（101）內壁之間固定安裝有過濾網（10），所述進液管腔（401）管段中部固定安裝有單向閥（14），所述進液管腔（401）的外端口活動套接有滑塊（13），所述滑塊（13）與單向閥（14）之間固定連接有第二復位彈簧（16），所述拋光頭（6）內部位于夾具（7）周圍位置開設有導液孔（601），所述拋光頭（6）的底部內壁均勻開設有通液口（602）；

所述拋光盤（4）內部的中部均勻間隔開設有磁環槽（402），所述磁環槽（402）的頂部活動套接有環形磁鐵（17），所述環形磁鐵（17）的底部固定安裝有斜面塊（18），所述磁環槽（402）靠近圓心的一側均勻間隔安裝有頂塊（19），所述頂塊（19）靠近圓心側的內部與磁環槽（402）內壁之間固定連接有限位彈簧（20），所述拋光頭（6）底端的內部開設有環形的調節腔（603），所述調節腔（603）的內部均勻活動套接有條形磁鐵（21），所述條形磁鐵（21）的頂部固定連接有拉絲（22），所述環形磁鐵（17）對頂部產生的磁力大小相同且各個環形磁鐵（17）的重量相同，所述環形磁鐵（17）的頂部磁極與條形磁鐵（21）的底部磁極相同，所述環形磁鐵（17）的寬度之和等于拋光頭（6）底端的直徑，且拋光頭（6）處于環形磁鐵（17）正上方且與其保持平行。

2.根據權利要求1所述的一種顯示器基板生產用化學拋光機，其特征在于：所述滑塊（13）的截面呈L狀，所述滑塊（13）的外端大小與進液管腔（401）相適配，所述滑塊（13）與凸塊（12）頂到最大位置時，滑塊（13）將進液管腔（401）完全堵住。

3.根據權利要求1所述的一種顯示器基板生產用化學拋光機，其特征在于：所述拋光頭（6）的外側連通有拋光液管且拋光液管連通至導液孔（601），所述導液孔（601）的底部開設有滴液口。

4.一種如權利要求1-3任一項所述的一種顯示器基板生產用化學拋光機的拋光方法，其特征在于：操作步驟如下：

S1、將基板固定好在夾具（7）上并接通拋光液與拋光頭的輸送管道，啟動開關通過電機（3）帶動拋光盤（4）轉動；

S2、基板與拋光墊（5）接觸拋光，導液孔不斷的滴落拋光液，甩出去的拋光液流過濾網（10）進入到拋光槽（101）底部；

S3、拋光盤（4）轉動凸塊（12）抵壓滑塊（13）將拋光液從柱槽（8）的頂部擠壓溢出并被甩到拋光頭（6）底部再次利用。