[發(fā)明專利]有機(jī)膜形成材料、有機(jī)膜形成方法、圖案形成方法、以及化合物

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110219930.6
• 申請日: 2021-02-26
• 公開（公告）號: CN113341646A
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中原貴佳;郡大佑;美谷島祐介
• 申請（專利權(quán)）人: 信越化學(xué)工業(yè)株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/09;G03F7/11
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種有機(jī)膜形成材料，其特征為包含下述通式(1)表示的化合物及有機(jī)溶劑；

該通式(1)中，X為碳數(shù)2～50的n價有機(jī)基團(tuán)或氧原子，n為1～10的整數(shù)，R₁獨(dú)立地為下述通式(2)中任一者；

該通式(2)中，破折線表示鍵結(jié)到X的鍵結(jié)部位，Q₁為含有羰基的1價有機(jī)基團(tuán)，且至少一部分為下述通式(3)表示的基團(tuán)；

該通式(3)中，破折線表示鍵結(jié)部位，X₁表示單鍵、或碳數(shù)1～20的2價有機(jī)基團(tuán)，且該有機(jī)基團(tuán)具有芳香環(huán)時也可具有取代基；R₂表示氫原子、甲基、乙基、或苯基；**表示鍵結(jié)部位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)膜形成材料，其中，該通式(1)的化合物為下述通式(4)、(6)、(7)、(8)、(9)、(10)、(11)、(12)、(13)、(14)中任一者；

該通式(4)中，n7、n8分別獨(dú)立地表示0或1，W為單鍵或下述通式(5)所示的結(jié)構(gòu)中的任一者；R₁和前述同樣，m1、m2分別獨(dú)立地表示0至4的整數(shù)，m1+m2為1以上且8以下；

該通式(5)中，n9表示0至3的整數(shù)，R_a～R_f互為獨(dú)立地表示氫原子或也可經(jīng)氟取代的碳數(shù)1～10的烷基或苯基，R_a與R_b也可鍵結(jié)形成環(huán)；

該通式(6)中，R₁和前述同樣，R_g表示氫原子、甲基、或苯基；

該通式(7)～(11)中，R₁和前述同樣，R_h、R_i、R_j、R_k、R_l、R_m、R_n分別表示氫原子、碳數(shù)1～10的烷基、碳數(shù)2～10的炔基、碳數(shù)2～10的烯基、芳香環(huán)上也可具有取代基的芐基、苯基；Y表示R₁或氫原子、碳數(shù)1～10的烷基、碳數(shù)2～10的炔基、碳數(shù)2～10的烯基，該通式(11)式中的4個Y之中至少2個為R₁；

R₁-R_o-R₁ (12)

該通式(12)～(14)中，R₁和前述同樣，該通式(12)中的R_o表示碳數(shù)1～20的直鏈狀、碳數(shù)3～20的分支狀或環(huán)狀的飽和或不飽和的2價烴基，該通式(13)中的R_p表示氫原子或碳數(shù)1～10的烷基。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)膜形成材料，其中，該通式(2)中的Q₁由該通式(3)表示的任1種以上與下述通式(15)、(16)表示的任1種以上所構(gòu)成；

該通式(15)中的R_q表示碳數(shù)1～30的直鏈狀、碳數(shù)3～30的分支狀或環(huán)狀的飽和或不飽和的烴基，構(gòu)成R_q的亞甲基也可被取代成氧原子或羰基；該通式(16)中的R_s表示氫原子或碳數(shù)1～10的直鏈狀、或碳數(shù)3～10的分支狀的烴基，R_t表示碳數(shù)1～10的直鏈狀、或碳數(shù)3～10的分支狀的烴基、鹵素原子、硝基、氨基、腈基、碳數(shù)1～10的烷氧基羰基、或碳數(shù)1～10的烷?；趸籲11表示0～2，n12、n13表示芳香環(huán)上的取代基的數(shù)目，n12、n13表示0～7的整數(shù)，且n12+n13符合0以上且7以下的關(guān)系。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)膜形成材料，其中，該有機(jī)溶劑為1種以上的沸點(diǎn)未達(dá)180℃的有機(jī)溶劑與1種以上的沸點(diǎn)為180℃以上的有機(jī)溶劑的混合物。

5.一種有機(jī)膜形成方法，是作為適用于半導(dǎo)體裝置的制造步驟的有機(jī)平坦膜而發(fā)揮功能的有機(jī)膜的形成方法，其特征為：于被加工基板上旋轉(zhuǎn)涂布根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的有機(jī)膜形成材料，將該被加工基板于100℃以上且600℃以下的溫度，以10秒～600秒的范圍進(jìn)行熱處理，借此形成硬化膜。