[發明專利]一種隔膜真空泵

在審

• 申請號: 202110214233.1
• 申請日: 2021-02-25
• 公開（公告）號: CN112746942A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 張成祥
• 申請（專利權）人: 北京桑翌實驗儀器研究所
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;F04B45/027;F04B39/00;F04B39/12
• 代理公司: 北京市萬慧達律師事務所 11111
• 代理人: 謝敏楠

1.一種隔膜真空泵，其特征在于，包括：

主軸，所述主軸用于連接至驅動電機的輸出軸；

一個或多個泵頭組；

其中，每個所述泵頭組包括四個泵頭，所述四個泵頭在垂直于所述主軸的縱向中心軸線的平面中圍繞所述縱向中心軸線均勻間隔開，每個所述泵頭距離所述主軸的縱向中心軸線的距離相等；

每個所述泵頭內設有泵腔，所述泵腔中設置有隔膜膜片，所述隔膜膜片經由偏心曲柄連接至所述主軸，并且所述主軸的旋轉運動驅動所述隔膜膜片往復運動。

2.根據權利要求1所述的隔膜真空泵，其特征在于，每個所述泵頭組中的相對設置的兩個泵頭設置在垂直于所述主軸的縱向中心軸線的平面內，以抵消相對設置的兩個泵頭運轉時的離心力。

3.根據權利要求1所述的隔膜真空泵，其特征在于，所述主軸上設置有多個并列布置的偏心輪。

4.根據權利要求3所述的隔膜真空泵，其特征在于，所述偏心曲柄經由軸承可旋轉地安裝在所述主軸的偏心輪上，所述主軸的旋轉運動經由所述偏心曲柄驅動所述隔膜膜片往復運動。

5.根據權利要求4所述的隔膜真空泵，其特征在于，與相對設置的兩個泵頭相對應的兩個偏心輪彼此相鄰地布置。

6.根據權利要求1所述的隔膜真空泵，其特征在于，所述偏心曲柄的末端連接至所述隔膜膜片的中心。

7.根據權利要求1所述的隔膜真空泵，其特征在于，所述多個泵頭組的出氣管路匯聚地連接到出氣均配器，進氣管路匯聚地連接到進氣均配器。

8.根據權利要求7所述的隔膜真空泵，其特征在于，所述多個泵頭組串聯和/或并聯地連接至彼此。

9.根據權利要求7所述的隔膜真空泵，其特征在于，每個所述泵頭組的各個泵頭串聯和/或并聯地連接至彼此。

10.根據權利要求8或9所述的隔膜真空泵，其特征在于：

所述多個泵頭組中的一些泵頭組的進氣口的管路匯聚地連接到所述進氣均配器，出氣口連接到分流出氣口；

所述多個泵頭組中的其他泵頭組的進氣口連接到所述分流出氣口，所述分流出氣口通過單向閥與所述出氣均配器連接，所述其他泵頭組的出氣管路與所述出氣均配器的出口匯聚。